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介绍一种以显微镜结构为基础的浸没式阵列激光扫描直写光刻系统的光路结构、有效焦深、自动调焦及曝光能量控制的原理和方法。实验系统的有效数值孔径(ENA)为1.83,使用的激光波长为355nm时,在实验室条件下得到的最细线条宽度为65nm。 相似文献
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浮选是金红石选别的重要手段,为了促进金红石选矿技术的进步,从捕收剂、调整剂两方面对金红石浮选药剂进行了梳理、总结。金红石浮选的主要捕收剂为脂肪酸类、膦酸类、胂酸类、羟肟酸类等,在生产实践中,各类捕收剂均存在一定的局限性;调整剂包括活化剂和抑制剂,活化剂主要有硝酸铅,通过增强矿石表面钛质点的活性来活化金红石;抑制剂主要为反浮选抑制金红石的硫酸铝和糊精,以及抑制脉石矿物的六偏磷酸钠、氟硅酸钠和羧甲基纤维素(钠)等。对浮选药剂种类及其在矿物表面作用机理的分析,可加深对金红石矿浮选药剂的认识,为选矿工作者提供技术参考。 相似文献
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蒋培军 《金刚石与磨料磨具工程》2020,40(5):96-101
为了准确预测工件表面及亚表面不同深度的温度场变化,基于反热源原理,以实际测量的磨削温度为基础,采用温度匹配法建立适应真实磨削加工时接触区的热源模型。运用有限元法,仿真计算工件磨削温度场的变化,并与瑞利分布热源模型预测结果对比,对工件表面及亚表面不同深度磨削弧区的磨削温度场进行测量。结果表明:基于温度匹配法建立的热源模型模拟的表面及亚表面不同深度温度场与实测值具有很好的一致性,相对误差在3.0%~7.5%,比瑞利热源模型预测的温度场分布精度提高了近2倍。 相似文献
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