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介绍一种显微剪切干涉仪 ,其基于剪切干涉是自干涉 ,因而具有相当的抗环境干扰和抗振动的特性 ,结合剪切干涉技术与显微干涉技术 ,实现制造环境下表面粗糙度精密测量。本文介绍了该显微剪切干涉仪的原理 ,给出了实验结果。 相似文献
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表面统计粗糙度理论与评定方法 总被引:2,自引:0,他引:2
本文对表面粗糙度研究的现状和存在的问题进行了分析,提出了表面统计粗糙度SSR的新概念,给出了它的评定参数和相应的评定方法。由SSR的基本评定参数FEP(表面轮廓模型参数α)可确定任何一种评定参数及其关系。本文还建立了表面轮廓和分离表面轮廓测量干扰及仪器误差的数学模型。通过一系列的试验和计算机上的计算,证明本文所提出的理论和方法是正确的。 相似文献
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本文针对机械加工中不透明冷却液的存在妨碍了在线非接触测量的这一难题,提出一种利用喷射的水柱来排开冷却液,并在被测物体表面一个小局部形成一稳定的透明测量窗口,使非接触光学测量得以在磨床上进行的技术。文章介绍了这种技术的主要思路、重要技术环节和实验装置,给出了初步实验结果。 相似文献
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本文针对机械加工中不透明冷却液的存在妨碍了在线非接触测量这一难题,提出一种利用喷射的水柱来排开冷却液,并在被测物体表面一个小局部形成一稳定的透明测量窗口,使非接触光学测量得以在磨床上进行的技术。文章介绍了这种技术的主要思路、重要技术环节和实验装置,给出了初步实验结果。 相似文献
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横向剪切干涉测量中准确的相位恢复算法 总被引:3,自引:0,他引:3
提出一种剪切干涉测量中实现由相位差分准确高效恢复被测波前相位的算法.该算法是基于被测波前相位与其差分完全的点对点对应关系,及最小二乘算法原理.首先由被测波前相位与其差分完全的点对点对应关系及最小二乘原理,建立一特殊的线性等式,被测相位能通过解此等式直接获得.由于该线性等式的系数矩阵为稀疏矩阵,能转化为一新的小矩阵,以降低计算机存储空间和计算量;同时,由于该矩阵为正定矩阵,Choleski因式化分解方法能用来实现该线性等式方便的解.进行了计算机数值分析和相关试验测试,结果表明:该恢复算法可行,且计算精度高、计算复杂性低;可实现由相位差分准确恢复被测波前相位,同时具有良好的噪声误差传输特性. 相似文献