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从主体树脂的结构设计、单体的合成工艺、主体树脂的合成工艺、光致产酸剂的评价、配方研究等多个方面论述了193nm光刻胶的研制工艺,合成出了多种适用的单体及多种结构的主体树脂,进行了大量的配方研究,筛选出了最佳配方.研制出的样品经美国SEMATECH实验室应用评价其最佳分辨率为0.1μm,最小曝光量为26mJ/cm^2,不但具有优异的分辨率和光敏性,而且还具有良好的粘附性和抗干法腐蚀性. 相似文献
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通过对磨床V形导轨淬火畸变的研究,理论上深入、细致地分析了引起零件淬火畸变的原因及其影响因素,提出了减小零件淬火畸变的措施,就MGA6025磨床导轨淬火弯曲变形的校直工艺进行了深入的探索与实践,提出了零件校直中应注意的问题。 相似文献
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以两种不同性能磨床的砂轮架为例,对不同要求的机床主轴箱在设计、制造、装配等方面进行了详细比较研究与分析,揭示了机床主轴箱中各零件之间的相互内在联系,指出了砂轮架设计中如何对各种零件性能相互进行配合,从而满足不同性能机床主轴箱的要求。 相似文献
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针对驱水机的严重振动,从轴承支承结构特点和主轴弯曲变形出发,详细分析轴承破坏的主要原因,重点解决主轴支承刚度差、轴承附加载荷大的问题,采取简单可靠的改造措施,有效地延长了轴承的使用寿命,保证生产的正常运行。 相似文献
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本文以日照市招商银行项目为例,从当地条件出发,对设计方提供3个备选方案分别从前期思考、设计构思、设计理念规划原则几方面进行了分析对比,并且选择出最终的设计方案,为相关设计提供参考。 相似文献
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针对特材药棒切断面质量严重恶化问题,详细、系统地分析了影响旋刀切药机切断面质量的各种因素,指出切药机技术改造的重点,找出改造的关键部位,确定了技术改造方案,采取有效措施对旋刀切药机后导板导向孔进行技术改造,并对其进行了深入的研究与分析,较好的解决了切药机关键部件使用寿命短、棒料长度及断面质量差、生产效率低下的难题,同时示例性的给出了技术改造的一般原则与方法.实践证明,改造是成功的,效果是明显的. 相似文献
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异形杆件校直精度的影响因素 总被引:1,自引:0,他引:1
通过对磨床下导轨热校直工艺的研究与规范,较为详细、全面、系统的分析了异形杆件校直精度的影响因素,指出了细长杆件校直中应注意的问题,提出了保证、提高校直精度的措施,发表了作者本人的观点与看法。 相似文献