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1.
光刻是制造大规模集成电路的主要方法。由于快速计算机和多功能处理器不断发展,并提出很多新的要求,促使半导体集成线路制造商力求增加单片上的元件密度。元件密度受最小光刻尺寸限制。虽然光刻工艺水平已能刻出准波长特征尺寸的集成线路的线宽,但是,连续发展几代的单片集成线路要求光源波长从436nm到365nm。用248nm波长光源(KrF准分子激光器).光刻的特征尺寸为0.25μm。期望能生产0.18μm特征尺寸的集成线路。为了生 相似文献
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3.
国际光学工程学会于1994年7月28—29日在美国圣迭戈召开了“先进微器件和空间科学传感器”学术交流会,会议共交流15篇论文。第一部分论文阐述了关于行星表面,大气和行星际间探测所用的器件和系统以及今后三年对火星表面和大气探测可能用的微型器件和小型系统。第二部分论文重点论述了新的传感器技术在现场探测和遥测领域的潜在应用。第三部分论文阐述了行星探测和地球遥感仪器整体小型化问题。 相似文献
4.
信息显示学会1996年学术交流年会在美国加利福尼亚州圣地戈举行(5月14—16日).会上发表了有关液晶显示技术、主动式液晶显示器、发射式显示器、大型和小型显示器以及最传统的显示器—阴极射线管.会议还举办了成果展览和展示了有关技术论文,反映了显示器研究和应用方面的世界水平. 相似文献
5.
德国航空-航天科学研究院光电研究所光学遥感部承担对MOMS-2P型模块式光电多光谱扫描仪的几何标定任务。1993年春,在执行历时10天的D2飞行任务时,首次用MOMS-02型扫描仪在空间沿飞行方向记录三重立体图像,获得一系列摄影有效数据,验证了像具有小于10m精度的数字地形模型那样产生立体照片的能力。此后,对MOMS-02扫描仪进行改进,使其适用于在俄罗斯MIR空间站的PRIRODA轨道仓环境下重新飞行。除MOMS-2P扫描仪外, 相似文献
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8.
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详细介绍了涤盖棉织物的染整加工工艺及生产过程,针对涤盖棉织物特点,给出了解决生产中易出现压印、折痕、横档的具体措施,并对提高染色深度、改善染色牢度方面给出了具体实施解决办法。 相似文献