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渗杂工艺是制造半导体器件必不可少的工序,目前广泛采用的是扩散法,这是一种在高温下利用分子扩散的原理向晶体中渗入杂质的方法。这种方法的缺点是不能严格地控制扩散深度和浓度,还会产生杂质的横向扩散。故无法得到平整的结面,也难以获得浅结和窄的基区,因而限制了器件工作频率和集成度的提高。用离子注入法渗杂,不仅克服了扩散法固有的缺陷,还可以得到特殊的杂质浓度分布和大面积的均匀准确注入。然而,离子注入渗杂也带来了新的问题,即高能量的杂质离子被注入到晶体内时,离子与晶格碰撞,造成品格损伤,单晶表面出现无序层和位错。把离子注入后的晶片进行热处理,可以消除晶格损伤,使被注入的杂质电激活。现行的办法是用退火炉退火,晶片在退火炉内被加热到很高的温度(通常为600—1000℃),经较长时间(半小时至一小时)的处理,方能退火。整个晶片被长时间高温加热,引起衬底性质发生变化,晶片还会受到周围有害杂质的污染,也会因高温造成热变形,被注入的杂质也会产生再分布。这种电炉退火的电激活率低,通常只有50%,位错也不能完全消除。这些问题若得不到解决,离子注入渗杂的优点也就难以完全得到发挥。 相似文献
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真实信息交互是进行微电网群协同优化调度的关键因素之一。从体系角度出发,形成微电网群进行协同优化运行追求的是整体与个体利益最大化。因此,损害微电网群运行效益的信息交互为虚假信息。虚假信息注入势必给微电网群的安全、经济、稳定运行带来影响。针对处理虚假信息注入给微电网群优化运行带来影响的问题,文中引入体系方法在构建计及虚假信息注入的微电网群体系架构的基础上,建立考虑虚假信息注入的微电网群完全分布式优化调度模型,并结合改进交替方向乘子法和一致性算法提出微电网群虚假信息检测、定位及惩罚机制,有效减少虚假信息注入对微电网群协同优化运行的影响。最后,通过算例分析验证所建模型和虚假信息处理机制的有效性。 相似文献
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随着新能源的发展,更多具有随机性的分布式电源以微电网群的形式接入配电网,传统集中式经济调度将面临复杂信息交互的挑战。此外,微电网群灵活多变的拓扑结构也迫切需要考虑数据隐私的微电网群信息交互机制。针对微电网群分散自治的特点,提出一种考虑微电网群信息交互的微电网群新能源互补消纳与协同优化调控算法,以降低功率调节所耗费成本和保证微电网整体实时功率平衡为目标,将经济调度问题转换为功率分配过程中微增成本一致性的问题。算例仿真结果表明,所提分布式算法具有良好的收敛性,且在功率约束、拓扑变化、链路故障的情境下仍具有较好的优化效果。 相似文献
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由纵向零序电压原理构成的发电机定子绕组匝间保护因故障电压整定值较小,容易出现误动。结合湛江发电厂3号、4号发电机匝间保护误动情况,对发电机定子匝间保护的构成和特性等进行了分析,指出增加具有故障特征量的负序功率方向闭锁,改进电压互感器断线闭锁功能可以有效减少该匝间保护的误动。 相似文献
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带并联电抗器同杆双回线自适应重合闸方案 总被引:2,自引:0,他引:2
提出了一种针对带并联电抗器的同杆双回线的自适应重合闸方案。针对接地故障类型,利用故障相恢复电压的积分值进行故障性质的判断;针对跨线不接地故障类型,利用不同回线故障相恢复电压差的积分值进行故障性质的判断;针对同杆双回线的所有故障类型,根据按相顺序重合闸原则进行重合闸操作。大量的动模实验结果表明,该方案能够准确识别各类接地与跨线不接地永久性故障,缩短了瞬时性故障时的重合闸时间,提高了系统的安全稳定水平,并且在不同电力系统运行状况和不同故障类型下重合闸装置均能正确动作,满足相关的技术要求。 相似文献