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硅基光电集成技术是当代高速信息化的重要发展方向之一。为了研究制备在硅衬底上的新型发光材料,突破Nd:YAG固体激光工作物质主要是晶体、透明陶瓷等固体形态的限制,采用电子束蒸发沉积工艺,在硅(100)衬底上制备了Nd:YAG薄膜,并对Nd:YAG薄膜的表面形貌、晶体结构、光学特性进行了测试。X射线和扫描电子显微镜测试结果显示,Nd:YAG薄膜经1100℃真空高温退火处理1h后有效结晶,采用钛蓝宝石激光器输出808nm激光激发,液氮冷却的InGaAs阵列探测器室温下得到Nd:YAG薄膜的1064nm主荧光峰的荧光光谱。结果表明,采用电子束蒸发沉积和后续高温退火工艺可以在硅衬底上制备Nd:YAG晶体薄膜。 相似文献
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一、走近中国轻工业原中国轻工总会把轻工业划分为22大类,44个行业,产品50多万种,涵盖了衣、食、住、行、用、玩各个方面。我国轻工行业22大类划分如下:(1)制浆造纸工业——制浆、造纸各种纸制品;(2)日用机械工业——自行车、摩托车、家用缝纫机、工业用缝纫机、手表、钟;(3)制 相似文献
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目的:确定阿托伐他汀钙片稳定的生产工艺。方法:通过相容性试验确定辅料,并通过体外溶出度试验确定工艺处方及生产工艺。结果:经过筛选所得的最终处方制得的阿托伐他汀钙片各项指标均符合规定。 相似文献
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