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采用自行研制的LB自动提膜装置,制备出大面积(10×8cm2)、高质量的PMMA超薄抗蚀剂膜,并将其用于高分辨率铬掩模版的研制。通过电子束曝光,湿法蚀刻,制作了分辨率优于0.5μm,特征线宽0.38μm的4(100mm)铬掩模版。 相似文献
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焊缝跟踪技术的研究与展望 总被引:17,自引:4,他引:17
本文回顾了电弧焊接的焊缝跟踪技术,并重点对该技术的发展趋势进行了介绍与分析, 相似文献
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湿式搅拌磨的设计与操作 总被引:2,自引:0,他引:2
本文论述了湿式搅拌磨超微粉碎机理,分析了搅拌磨的操作与搅拌速度、介质球径、料浆粘度等因素对超微粉碎的影响。对湿式搅拌磨的参数设计及确定做了必要的论述。 相似文献
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城市灯光环境规划原理(2) --广义光污染要领的提出与对策 总被引:6,自引:1,他引:6
本文定义了广义光污染概念的内涵与外延和表现特点,探讨了在城市灯光环境规划中防止广义光污染的对策。 相似文献
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以下报导是根据游戏厂商在参展前向CESA登记展出的游戏为准,而报导内容及方向,除了以厂商在游戏展中特别宣传及举办的活动资料为主外,其他非主要产品则根据厂商事前公布的有关资料为参考所撰写而成。 相似文献
10.
简单介绍了内部环境审核的流程,由此引出对管理信息系统的要求,然后给出了系统的实施方案,介绍了系统的体系架构和功能结构,并对主要功能作了详细介绍。最后通过一个案例证明该系统在企业实施后的有效性。 相似文献