半导体的阳极氧化技术及其应用

一、引言半导体的阳极氧化技术是一项比较新的技术.玻璃容器中放入一种特定的溶液,将半导体插入作为阳极,再在溶液中放入一个阴极,然后在两极间通以电流,溶液中的氧离子与半导体表面上失去电子的正离子化合成半导体的氧化物.例如对硅来说,通过溶液的反应,在硅表面上就生长了一层二氧化硅,这就是半