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天线结构是监控半导体工艺过程中等离子体损伤的一种典型结构,一般主要用来监控MOS器件栅氧的损伤。文中,该结构用来监控横向PNP(LPNP)管工艺过程中的发射极结损伤。实验发现,带天线结构的LPNP管的输出曲线容易出现翘曲现象,分析认为该异常不是由于发射极结损伤造成的,因为发射极结工艺过程中并没有受到损伤。同时发现该翘曲现象在LPNP管保护环接低电位时会消失,该低电位在很大范围内变化时,输出曲线基本一致,且输出曲线电流较保护环悬空时的电流整体偏大,在集电极电压较大时,输出电流和保护环悬空时的电流一致。 相似文献
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鉴于视频捕获技术在各行业中得以越来越广泛地应用,文中针对于微软公司提供的专门用于视频捕获开发的工具包VFW,介绍了如何利用VFW技术实现视频捕获,并且结合具体的实例,在VC++环境下实现了实时视频捕获、单帧捕获等多种捕获方法。 相似文献
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鉴于视频捕获技术在各行业中得以越来越广泛地应用,文中针对于微软公司提供的专门用于视频捕获开发的工具包VFW,介绍了如何利用VFW技术实现视频捕获,并且结合具体的实例,在VC+十环境下实现了实时视频捕获、单帧捕获等多种捕获方法。 相似文献
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