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实验表明,磁芯对空芯扫描偏转线圈空间磁场分布的影响在两者几何尺寸偏离不大时可以忽略。可以用空芯偏转线圈的磁场分布来计算电子在扫描偏转系统中的轨迹,并根据其光栅的畸变情况来调整和确定匝数分布,从而使工程设计更为简便和准确。 相似文献
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磁透镜的球差和色差系数可表为放大倍数的多项式,本文通过计算给出了多项式的系数,并拟合出精度较高的表达式,可以方便地计算出有限放大倍数下的球差和色差系数。 相似文献
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磁透镜极靴形状对其电子光学参量的影响 总被引:1,自引:1,他引:0
本文通过对三种类型实用磁透镜的系统研究,提出可用形状参量W=(D2D1)/2S来表征极靴形状对其电子光学量的影响。在磁路设计良好并满足弱碱激励的条件下,若W〈0.7,极靴形状将影响电子光学参量;若W〉0.7,则影响可基本忽略。 相似文献
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电镜用偏转线圈空间磁场分布的计算 总被引:1,自引:1,他引:0
本文根据毕奥-萨伐尔定律,给出了分段集中绕制的矩形,环形线圈空间磁场分布的解析表达式,能方便地用于电镜偏转系统的设计。 相似文献
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本文在第一聚光镜焦距为极大的优化条件下,给出了常用的SEM电子光学系统磁透镜最佳安排的计算公式。 相似文献
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一、概述扫描电子显微镜是一种大型精密电子光学仪器,具有分辨本领高,图像立体感强,能对各种信息进行综合分析等优点,在冶金、地质、矿物、半导体、医学、生物等领域得到了广泛的应用。 DXS-3型扫描电镜分辨本领为60A,需要有优良电子光学系统。我们考虑电子光学系统总缩小倍数为5000倍左右,并要求探针电流大于10~(-12)A。我们采用锥形栅极的常规钨阴极电子枪和四极透镜系统。聚光镜系统由一个双间隙、单线包聚光镜和一个单间隙、单线包聚光镜组成。物镜采用常规针孔物镜。二、磁透镜的设计磁透镜是电子光学系统的关键部件,它的设计特别是物镜的设计对分辨本领起着 相似文献
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毫秒级高压气流脉冲发生器的研制*沈一骑(南京大学声学研究所南京210093)0引言高压气流的切换常见于国民经济的各个领域,已属比较成熟的技术。其执行元件通常采用各类阀门和控制元件。无论是电磁控制元件还是气动控制元件,其最高切换频率均小于10Hz(即气... 相似文献