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介绍了LOCOS隔离技术的原理,研究了应用于LOCOS工艺的反刻平坦化技术,通过调整刻蚀中反应气体流量等工艺参数,在CHF3流量50 mL/min、O2流量2 mL/min条件下,获得了较好的平坦化表面。研究了应用于LOCOS工艺的CMP平坦化技术,通过调整CMP压力、转速、流量等工艺参数,控制了抛光速率和精度,提高平坦化的均匀性,在工艺条件为压力1psi(1 psi=6.89×103 Pa),转速25 r/min,流量120 mL/min时,获得了良好的平坦化形貌。通过实验对比发现,CMP平坦化效果优于反刻平坦化,适合于实际生产应用。 相似文献
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苏里格第四天然气处理厂甲醇预处理单元20 m3地埋转油罐、清管区20 m3地埋罐,高低压放空分液区的10 m3和5 m3地埋罐,在转液工艺的设计上均采用了氮气驱液,本文主要以甲醇预处理单元20 m3地埋转油罐氮风驱液工艺转油的应用,分析对比了其与机泵转油存在的诸多优点以及在使用中需要注意的一些问题,并提出了将其推广应用在其它方面的建议,使氮风驱液这一新工艺得到更加广泛的应用。 相似文献
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