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相移干涉技术是表面轮廓测量领域中得到了广泛应用的可实现高精度测量的技术方法.本文将相移干涉技术与上海光学仪器厂的6JA型干涉显微镜结合起来,研制成功了移相式数字光学轮廓仪,其测量范围0.5nm~1um,精度达到了σ<0.05nm(Ra),σ<0.7nm(P-V).由于相关技术的突破,该仪器可以对多种材料、多种轮廓形状的表面实现测量,并得到了较好的结果. 相似文献
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二极管泵浦的Nd:YAG激光器美国加州圣克拉拉的Continuum公司推出的HPO-300型高功率二极管泵浦Nd:YAG激光器,在1064nm波长输出3mJ.该激光器重复率在1~300Hz可产生接近衍射极限的脉冲。 相似文献
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本文对0.532μm泵浦BBO光参量振荡器进行了线宽压窄的实验研究,在简并点处获得小于0.1nm的输出线宽,参量转换效率达12%。 相似文献
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文中首先对 L PG损耗谱的特性进行分析 ,并就特定的 EDFA增益谱计算出平坦化滤波器所需光栅的最佳参数 (吸收峰的位置、强度和带宽 )。然后给出长周期光纤光栅制作的改进光路 ,通过该光路 L PG各参数在制作过程中都可以灵活地进行控制。最后对 L PG封装效果进行了数值分析。 相似文献
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相位去包裹是移相干涉技术中关键的组成部分。一些去包裹算法在处理具有较多无效成像点的干涉图时,会在处理结果中引入较大的算法误差。提出了通过对去包裹位相进行二次校正的方法,实现去包裹位相算法误差的有效消除。文中通过基于DCT变换的最小二乘去包裹算法为例进行了说明,并通过一光学平晶表面的处理结果对方法进行了验证。 相似文献
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相位扫描干涉度量术的广泛应用推动了去包裹算法的发展。在多种算法中,用于数字光学轮廓仪的相位去包裹算法必须具有较高的普遍适用性,而且必须兼顾健壮性与效率。本文对传统算法和最小二乘算法这两种典型去包裹算法进行了比较研究,并在自行研制的数字光学轮廓仪上进行了验证。 相似文献
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相位解包裹问题是许多干涉术中存在的基本问题.运用DCT方法的解包裹算法是十分有效、健壮的,然而仅适用于方形域条纹图处理.本文引入加权迭代方法将其有效地运用于常见的圆形域干涉图的处理.模拟结果表明,加权迭代法的计算精度可达10 -7rad,相对于普通的DCT解包裹算法有非常大的提高.我们在自行研制的DOP-2000型数字光学轮廓仪上,运用相移干涉术对一多刻线样板进行了测量,实验结果进一步表明,本文的加权迭代法是一种非常有效和实用的方法. 相似文献
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光学件波面测量在光学加工业中有着大量的需求,近年来相关测量技术发展非常迅速,其中移相技术是较典型的代表,发展日趋成熟并得到了广泛应用.以PG-15型平面干涉仪为硬件基础,采用移相技术,解决了其中移相值标定、相位解调、误差处理中的难点,研制了数字波面干涉仪.对干涉仪中的这几个关键技术问题进行了讨论,并给出了相应的解决方法. 相似文献
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