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1.
无马达驱动的旋转圆柱形磁控溅射器
黄士勇
曲凤钦
苗晔
钟玉荣
孟兆坤
傅胜奇
《真空科学与技术学报》
2001,21(5):416-418
在大型薄膜连续生产线中,磁控溅射器的溅射速率、使用周期是影响生产效率与成本的重要因素.本文提出一种新型的无马达驱动的具有高溅射速率、高靶材利用率、长的靶使用周期、安装与使用简单的磁控溅射器.可广泛应用于各类大、中型连续生产设备中.
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