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一般工业技术
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1.
约瑟夫森结工艺系统
熊康林
冯加贵
夏慧枝
杨慧永
赵宇坤
陆书龙
张永红
《真空》
2022,(2):1-5
超导电子学和超导量子信息等领域的核心元器件是约瑟夫森结,这是一种超导体/介质层/超导体三层结构的非线性器件.超导量子比特常用铝/氧化铝/铝结构的结,在量子芯片上制备这种约瑟夫森结,需要在衬底不离开真空环境的条件下,实施离子束刻蚀、样品方位角可调的电子束蒸发、气氛可控氧化等工艺过程.自主研发的约瑟夫森结工艺系统是一套集成...
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