193nm光刻技术进展和问题

光刻是制造大规模集成电路的主要方法。由于快速计算机和多功能处理器不断发展,并提出很多新的要求,促使半导体集成线路制造商力求增加单片上的元件密度。元件密度受最小光刻尺寸限制。虽然光刻工艺水平已能刻出准波长特征尺寸的集成线路的线宽,但是,连续发展几代的单片集成线路要求光源波长从436nm到365nm。用248nm波长光源(KrF准分子激光器).光刻的特征尺寸为0.25μm。期望能生产0.18μm特征尺寸的集成线路。为了生     

光学信号处理器

本专利阐述一种结构新颖的CCD信号处理器。采用CCD处理器,元件内的偏压可以直接抑制。CCD间以及读出放大器间的散射也可减少。(美国专利号:5170048)     

先进的微型器件和空间科学传感器

国际光学工程学会于1994年7月28—29日在美国圣迭戈召开了“先进微器件和空间科学传感器”学术交流会，会议共交流15篇论文。第一部分论文阐述了关于行星表面，大气和行星际间探测所用的器件和系统以及今后三年对火星表面和大气探测可能用的微型器件和小型系统。第二部分论文重点论述了新的传感器技术在现场探测和遥测领域的潜在应用。第三部分论文阐述了行星探测和地球遥感仪器整体小型化问题。     

引人注目的新的显示技术

信息显示学会1996年学术交流年会在美国加利福尼亚州圣地戈举行(5月14—16日).会上发表了有关液晶显示技术、主动式液晶显示器、发射式显示器、大型和小型显示器以及最传统的显示器—阴极射线管.会议还举办了成果展览和展示了有关技术论文,反映了显示器研究和应用方面的世界水平.     

MOMS—2P型CCD线阵立体扫描仪的几何标定

德国航空-航天科学研究院光电研究所光学遥感部承担对MOMS-2P型模块式光电多光谱扫描仪的几何标定任务。1993年春,在执行历时10天的D2飞行任务时,首次用MOMS-02型扫描仪在空间沿飞行方向记录三重立体图像,获得一系列摄影有效数据,验证了像具有小于10m精度的数字地形模型那样产生立体照片的能力。此后,对MOMS-02扫描仪进行改进,使其适用于在俄罗斯MIR空间站的PRIRODA轨道仓环境下重新飞行。除MOMS-2P扫描仪外,     

Brönsted方程动力学模型研究ZSM-5催化乙烯齐聚及芳构化活性和酸强度分布之间的定量关系

乙烯催化齐聚和芳构化是烯烃高值化和合成液体燃料的关键过程,采用NH₃-TPD谱图分析计算方法得到的探针分子脱附活化能作为催化剂的酸位点强度分布的参数,结合线性自由能理论在Br?nsted方程中引入酸强度对反应的影响因子γ作为动力学方程参数关联探针分子脱附活化能与反应活化能,明确固体酸酸强度的基准在催化动力学方程中的物理意义。建立同为MFI拓扑结构 Si /Al摩尔比为12.5、19、25、60、70的ZSM-5分子筛催化剂上不同酸强度位和乙烯齐聚及芳构化中氢转移、齐聚、芳构化各单元步骤以及对应的烷烃、低碳烯烃和芳烃产物分布的定量关系。根据拟合得到动力学参数γ可以发现不同强度的酸位点对乙烯齐聚及芳构化具有不同的作用系数。氨脱附活化能(DAE)为90 kJ·mol^-1的酸位点是氢转移反应的主要活性位点,而对于乙烯齐聚反应中主要的活性酸位点为DAE 90 kJ·mol^-1和124 kJ·mol^-1,DAE为150 kJ·mol^-1的酸位点是芳构化反应的主要活性位点。     

液固流化床内固含率时空分布特性的CFD模拟

采用Brandani等考虑拟平衡状态下颗粒与流体相互作用的双流体模型,通过在商业软件CFX4.4平台上增加用户自定义子程序模拟了高0.5 m、宽0.1 m的二维液固流化床内固含率的时空分布特性。为了保证数值模拟精度、节省计算机运行时间,首先确定了适宜的网格尺度、时间步长和收敛判据。随后,考察了液固两相物性和操作条件对流化床内固含率时空分布特性的影响,模拟结果表明：增大颗粒粒径或密度会使颗粒向下加速运动,导致床层高度下降而垂直方向上任一水平面的平均固含率呈现增大的趋势;减小液体黏度或密度则会使颗粒向下加速运动,导致床层固含率增大;突然增大液速会使颗粒向上加速运动,导致床层固含率减小;升高温度的实质是使液体的黏度和密度均呈现下降的趋势,结果使颗粒向下加速运动,床层固含率增大。上述模拟结果与颗粒受力的理论分析相一致。