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本文综合分析了立方氮化硼(c-BN)膜的制备方法,介绍了c-BN膜的结构及其机械、电学、光学和热学性能。最后总结了c-BN膜在机械和电子领域的应用概况。 相似文献
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综合利用射频和直流辉光放电的特点研制成功射频-直流等离子化学气相沉积设备。成功地用该设备制备出类金刚石薄膜。类金钢石薄膜的沉积速率随极板负偏压、气体工作压力的增加而增大。 相似文献
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采用射频-直流等离子化学气相沉积法制备类金刚石薄膜,用慢正电子湮灭技术研究了类金刚石薄膜中缺陷的深度分布,并系统研究了工艺参数对类金刚石薄膜中缺陷浓度的影响.实验结果表明,单晶Si衬底具有很高的缺陷浓度,类金刚石薄膜中的缺陷浓度较低.且缺陷均匀分布,薄膜表面存在一缺陷浓度较高的薄层,而膜一基之间存在一很宽的界面层,界面层内缺陷浓度随离衬底表面距离的增加而线性降低,到达薄膜心部后,缺陷浓度趋于稳定.类金刚石薄膜的缺陷浓度和膜-基界面层宽度都随负偏压的升高呈先降低、后增加再降低的变化趋势.薄膜中的缺陷浓度随混合气体中C2H2含量的升高而单调增大,但C2H2含量对界面层宽度没有影响. 相似文献
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针对目前脑血管的三维重建技术存在着对硬件要求高、重建结果与人体解剖学结果差距较大的问题,本文提出了一种脑血管三维重建方法。将扫描得到的CTA图像导入到Mimics17. 0软件中,先进行阈值分割,然后蒙版编辑,最后通过区域增长。经过这些预处理后,结合错切变形法的三维重建算法,得到三维重建的脑血管模型。其处理所得的脑血管具有模型清晰、细节突出的优点,同时所得模型可以进行切割处理和实现任意角度的放大缩小。系统运行结果表明:此方法得到的脑血管图像更加真实,并且可以进行多种软件的导入、模拟训练及后期的研究,为脑血管介入手术的术前模拟提供了有效的方法。 相似文献
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用Raman谱研究了射频-直流等离子体化学气相沉积法制备的类金刚石膜结构,,用弯曲法研究了类金刚石膜的应力,用光学显微镜对类金刚石膜肿由于压应力的释放所形成的花样形貌进行了观察。类金刚石膜中存在1-4.7GPa的压应力。由于应力释放,在膜-基界面处观察到正弦曲线状,分枝状,直线状和花状花样外,还观察到时钟状和水泡状两种新型应力释放花样,用薄板起皱理论可以很好地解释这两种新花样。 相似文献
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人工关节用无机涂层材料 总被引:6,自引:0,他引:6
无机薄膜材料综合利用金属基体的高强度,塑性和韧性,以及陶瓷材料的高硬度,耐磨性和良好生物相容性的性能特点,满足关节在人体中的使用性能要求,成为人工关节材料的重要发展方向。本文综合分析了各种人工关节用生物惰性和生物活性无机薄膜材料的制备及性能。 相似文献