传感器的真空循环注油法

根据实际要求和目前的注油方法及装置的情况，提出了真空循环注油的思想，设计并研制成功了这种注油装置；介绍了它的工作过程原理、特点及应用情况．     

硅压力传感器静态特性参数计算机标定系统

介绍可标定６４路压力传感器静态特性参数的计算机标定系统。数据采集精度可达０．０５％，可得出传感器的非线性、迟滞、重复性、零位输出、零位温漂、灵敏度、温漂特性参数。该系统还可用于压力传感器的温漂补偿。补偿后压力传感器零位＜０．５ｍＶ，零位温漂＜５×１０－５／℃Ｆ．Ｓ。     

可对多目标测量的硅传感器系统􀀁

本文介绍了一种新型的可对多个目标进行测量的硅压力传感器系统的研制，它是把多个硅压力传感器组合一个完整的传感器系统，用于对多个不同的对象同时完成独立测量，文章具体描述了对压力、流量、干度实测测量的原理，过程以及传感器系统的结构制作。     

真空微电子管的研究

综合了已有的真空微电子器件理论的研究成果，提出了真空微电子三极管优化模型，并且进行了初步计算，得到了真空微电子三极管优化模型的理论特性。同时，利用独创的无版光刻工艺制作了真空微电子三极管，进行了测试，并且与理论结果进行了比较。     

多用途LPCVD/PECVD薄膜淀积设备的试制与其薄膜性能的研究

本文介绍一种经济、实惠、多用途LPCVD与PECVD淀积Si_3N_4薄膜设备,该设备结构简单,性能稳定,对集成电路以及微电子器件的科研和生产具有相当的灵活性.文章中对该设备的设计和结构进行了描述,并对该设备用不同方法所淀积的Si_3N_4薄膜的性能进行了测试和分析.最后对进一步开发该设备的应用给予说明     

LPCVD氮化硅作减反射膜的MIS/IL太阳电池反型层性质的研究

设计了以MIS接触作为源、漏的MNOS场效应晶体管,通过晶体管电特性的测量,考察了MIS/IL太阳电池减反射膜(LPCVD氮化硅)中由于电荷存贮效应引起正电荷密度增大时反型层参数(薄层电阻R_(?),有效迁移率μ_(eff))的变化。利用建立的模型用计算机分析了这些变化对电池输出特性的影响,结果表明电荷存贮效应可以有效地提高电池的转换效率。     

一种补偿扩散硅压力传感器零点温漂的电阻网络

本语文从恒压源和恒流中不同的供电方式出发,推导出了两套扩散硅压力传感器零点及零点温漂串,并补偿电阻阻值的公式,运用这两套公式,只需测量流过电的电流、压以及零点而无需测量桥臂电阻就可计算出补偿电阻的大小,使用极其方便。