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70mm平行束卡夫曼源的设计 总被引:1,自引:0,他引:1
本文介绍一种出口束径为Φ70mm的平行束离子源的原理,结构特点及离子源工作性能。当加束电夺为1200V,孤流为4A时,净加速度流超过100mA,可用于微细加工中离子束清洗和离子束蚀刻。 相似文献
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从2005年初开始,几乎所有与工程机械有关的原材料的价格都大幅上涨,导致成本大幅上升,企业利润空间再度压缩。受此影响,1季度柳工的毛利率与2004年同期相比,降低了4个百分点。但是,柳工采取各种积极措施,挖掘企业内部潜力,盈利仍稳居行业之首。柳工1季度销售装载机、挖掘机和压路机等4700多台,销量、销售收入和利润水平均居全行业第一。 相似文献
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文中介绍了采用Pd-Cr合金作为氢敏材料,利用MEMS加工技术制备薄膜型氢气传感器.测试了传感器对0~4%浓度范围氢气的敏感特性,结果显示,传感器对0~4%氢气浓度具有良好的线性输出特性,并表现出较高的响应灵敏度和较好的响应重复性. 相似文献
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