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相移干涉显微镜的研制和光盘预刻槽形的测量 总被引:6,自引:0,他引:6
作对原有的Mirau型相移干涉显微镜的干涉仪布局、参考板结构和位相探测技术中的有关算法作了改进,从而成功地将其运用于光盘预刻槽形的测量。中对新采用的光路布局、参考板制作方法、干涉图预处理技术以及光强轮廓线定位法都作了详细论述,并给出了光盘槽刻槽形的测量结果。 相似文献
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64.
加大节能玻璃在建筑门窗中推广应用力度 总被引:1,自引:0,他引:1
本文提出了应该用门窗整体导热系数和空气渗透性来评价门窗节能好坏。抓门窗节能 ,关键要抓门窗玻璃的节能。分析了门窗玻璃的能耗 ,指出降低门窗玻璃能耗的主要途径和措施 相似文献
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丁志华 《南京师范大学学报》2003,3(3):46-50
采用单片机与ISP技术相结合的方法,设计并实现了一个基于ISP技术的工业用自动化包装控制系统.介绍了该系统的设计方案、ISP技术的运用和程序设计要点.该系统运行可靠,修改调整方便,控制精度较高,可满足自动化生产的需要. 相似文献
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70.
相移干涉显微镜中移相误差分析 总被引:6,自引:2,他引:4
本文具体分析了影响移相误差的多种因素,比较了在不同移相术中移相误差量对检测精度的影响,从而论证了五步移相术的合理性和利用压电陶瓷微位移传感器的现有定位精度实现0.1nm级检测精度的可行性。文中还给出了有关的数值计算结果和测试结果,并就有关问题进行了讨论。 相似文献