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通过普通的紫外(UV)光刻工艺,结合"变倾角缩口"新技术,研制了不同发射单元尺寸的碳纳米管(CNTs)阵列阴极。扫瞄电镜分析表明,随着缩口尺寸的依次减小(从0.6μm到0.4μm,最后到0.2μm),发射单元内CNTs的根数也不断减少。当孔径缩至0.2μm时,发射单元仅由1根~3根CNTs组成,并且大部分单元顶端均有单根CNT伸出,使得整个发射体近似于单根CNT。场发射特性测试结果表明,0.2μm发射单元尺寸的阵列阴极,开启电场约2V.μm-1;当场强为20V.μm-1时,该阵列的电流密度达到0.35A.cm-2,比1μm尺寸的阵列阴极提高了近4倍,比连续生长的薄膜CNTs阴极则高1~2个数量级。 相似文献
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人体组织是由各种各样的构件、部件和细胞组成,变化多端极其复杂。这些组织不仅对于每个个体是不一样的,而且对不同的性别、身体素质、健康状况、甚至外部条件(例如饮食状况、呼吸的空气状况、周围环境的温度情况、精神状态等)的人,相同功能的组织也不是完全一样的。然而,在频率为10MHz~10GHz内,人们可根据形状和电磁特性(包括介电常数ε和导电率σ)对生物组织从宏观上进行观察和区分。这些参数和电磁波的辐射频率有关,并依赖于特定组织的类型。所有的生物组织都具有导电性,当微波穿过时,组织就会吸收微波能量并将其转化为热量。这种… 相似文献
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微波器件频率进入太赫兹,输能窗的厚度减小至一百甚至几十微米。常规的介质材料,或者多晶金刚石材料已
经难以满足强度和真空密封性能的要求。为此设计并研制出一种新型微/超纳米复合多层金刚石膜。该膜采用微波等离子
体化学气相沉积法(MPCVD),通过反应气源和沉积参数的改变,实现在硅衬底上依次原位生长微米尺度和超纳米尺度
的金刚石膜。研制的复合多层金刚石膜表面粗糙度Ra<0.5μm,生长面的断裂强度高达1550MPa,是普通多晶金刚石膜的
三倍。用该膜封接的输能窗目前已经通过真空密封性测试,将首次应用于太赫兹真空器件。 相似文献
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微波器件频率进入太赫兹,输能窗的厚度减小至一百甚至几十微米。常规的介质材料,或者多晶金刚石材料已经难以满足强度和真空密封性能的要求。为此设计并研制出一种新型微/超纳米复合多层金刚石膜。该膜采用微波等离子体化学气相沉积法(MPCVD),通过反应气源和沉积参数的改变,实现在硅衬底上依次原位生长微米尺度和超纳米尺度的金刚石膜。研制的复合多层金刚石膜表面粗糙度Ra<0.5μm,生长面的断裂强度高达1550MPa,是普通多晶金刚石膜的三倍。用该膜封接的输能窗目前已经通过真空密封性测试,将首次应用于太赫兹真空器件。 相似文献
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近年来,环境保护越来越受到人们的关注,绿色健康的概念越来越深入人心。作为人们工作、生活和休息的场所,这些环境因素对人的影响是致关重要的。而在这些场所中家具中的甲醛释放是其中不可忽视的一个重要因素。本文主要介绍甲醛的基本特性、对人体的危害、家具中的甲醛释放原理及其减少危害的方法等。旨在通过本文,加强人们对家具中甲醛危害的认识,能够多创建健康环保的生活空间。 相似文献
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本文介绍了一种微图形化碳纳米管场发射阵列冷阴极,每个图形的直径仅为1μm,构成一个发射单元。制作工艺如下:首先在硅(100)基片上沉积氮化钛缓冲层,然后采用曝光工艺获得直径为1μm的胶孔阵列,沉积催化剂铁,最后采用直流等离子体增强化学气相沉积(DC-PECVD)生长直立的碳纳米管。并对17500个发射单元的阵列阴极进行了表面形貌表征及场发射特性测试。结果表明,碳纳米管阵列阴极的一致性较好;最低开启电场为1 V/μm;电场为17 V/μm时,测得的电流密度已达到90 mA/cm^2;发射电流为550μA时,在2.5 h内的波动小于5.6%。 相似文献
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