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41.
准分子激光电化学刻蚀硅的刻蚀质量研究   总被引:1,自引:0,他引:1       下载免费PDF全文
为了解决现有硅刻蚀工艺中存在的刻蚀质量等问题,采用激光加工技术和电化学加工技术相结合的工艺对硅进行了刻蚀,研究了该复合工艺的工艺特性。实验中采用248nm-KrF准分子激光作光源聚焦照射浸在KOH溶液中的阳极n-Si上,实现激光诱导电化学刻蚀。在实验的基础上,研究了激光电化学刻蚀Si的刻蚀孔的基本形貌,并对横向刻蚀和背面冲击等质量问题进行了分析。结果表明,该工艺刻蚀的孔表面质量好、垂直度高;解决了碱液中Si各向异性刻蚀的自停止问题,具有加工大深宽比微结构的能力;也具有不需光刻显影就能进行图形加工的优越性。  相似文献   
42.
经典与时尚     
新年伊始,到云南旅游期间掏得一块陈年熟普:推销员说十八年有余,当然不大相信,要求试泡一下,却推搪说若要试就不只这个价钱(因当时是在大商场里):不过看起来还觉有点日子,轻轻用力一弯——感觉有点松,拿近鼻子闻——没明显酶味,价钱也不算太过分,便成交了。  相似文献   
43.
“善于资本运作的他永远不会放弃任何上市的可能,大手笔的连番高价收购与投资,向业界充分展示了其重回IT业的积极姿态”(《5次连环收购回归IT唐骏欲造“中国彭博”》,“公司”,2010年3月5日)。  相似文献   
44.
在信息化网络技术飞速发展的新时期,网络技术的载体计算机是必不可少的主角,计算机网络的技术发展水平直接影响着信息化社会的发展。本文将从计算机网络的产生;计算机网络的发展;计算机网络的分类及其体系结构;计算机网络技术的在现实中的应用这几个方面进行阐述,并对未来计算机网络技术的发展及更广泛地实际应用做美好的展望。  相似文献   
45.
“电力电子技术”是电气类课程体系中一门重要专业基础课程,本文主要介绍一款基于Matlab的电力电子技术仿真平台,使学生的学习模式从被动接受转为主动探究,这样不仅提升了学生的学习兴趣,还极大的提高了课程的教学效果.  相似文献   
46.
提出了一种基于Viterbi算法的短波SFH/GMSK系统差分相位检测(DPD)的解调方案,运用Matlab建立了短波SFH/GMSK系统模型,并在此模型上对不同参数下该解调方案的误比特率进行了数值仿真.其仿真结果表明:DPD解调方案的误比特率可以达到10-5~10-6,能满足短波信道性能的需求.  相似文献   
47.
介绍了激光诱导湿刻技术在各种材料微加工中的应用,同时对其作用机理和刻蚀特性进行了简单探讨,并对其发展进行了展望。  相似文献   
48.
一、2006年出现我国第4次电子布热俏年 近十年来,在我国电子布——覆铜板——印制电路板产业链的生产发展历程中,前后共发生过三个市场热销年。导致电子布市场火爆,产品脱销,价位上扬。  相似文献   
49.
短波信道FH/DQPSK系统比特误码率的实时监测   总被引:2,自引:3,他引:2  
文中基于短波FH/DQPSK系统的调制解调技术,分析了瑞利衰落信道下的短波跳频系统DQPSK调制信号的码符差错率(SER)和伪误码率(PER),并根据理论分析和数值模拟的结果得出了两者间的近似线性关系;提出了采用线性伪错统计时监测估算比特误码率(BER)的方法。理论分析和数值模拟结果:采用该实时监测估算方法所得到的DQPSK调制时的BER的相对误差(56.4%)优于MFSK调制时的BER的相对误差(79%)。  相似文献   
50.
随着科学技术的飞速发展,电子、邮电通讯、航天航空等高新产业的迅速崛起,尤其需求电子仪器仪表和设备等电子产品日趋小型化,多功能及智能化。 高密度集成电路(HIGH DENSITY IC已成为电子工业对上述要求中不可缺少的器件。这种器件具有线间距短、线细、集成度高,运算速度快,低功率,低耐压和输入阻抗高的特点,因而导致这类器件对静电越来越敏感,称之为静电敏感(ESDS)器件。  相似文献   
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