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使用光强标定的发射光谱(AOES)测量了CHF3/C6H6混合气体的微波电子回旋共振(ECR)放电等离子体中基团的分布状态。实验发现随着CHF3流量的增加,成膜基团CF、CF2、CH等的相对密度增大,而刻蚀基团F的密度也会增加,从而使得a—C:F薄膜的沉积速率降低。同时红外吸收谱(IR)分析表明,在高CHF3流量下沉积的a—C:F薄膜中含有更高的C—F键成分。可见在a—C:F薄膜的制备中CHF3/(CHF3 C6H6)流量比是重要的控制参量。 相似文献
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电视灯光是一门造型艺术,演播室灯光设计水平是影响电视节目质量诸多因素中极其重要的因素,本向读介绍了一种灯光设计软件,通过该软件可以实现灯光设计可视化,可大幅度提高设计的准确度和工作效率。 相似文献
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今天我想给大家来点快餐——用循环控制语句来编写循环结构程序。用新的方法来编写前几期一些题目的程序,这要比原来快捷得多。 相似文献
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江河治理中,占有相当比重的对工程安危起关键作用的是建筑物的护坡工程。本文就目前应用较为普遍的混凝土护坡结构型式,对其应用实效、经济指标和可靠性进行分析并提出技术上的改进方案和措施,论述推广应用该结构型式经济、可靠的途径。 相似文献
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