全文获取类型
收费全文 | 112篇 |
免费 | 15篇 |
国内免费 | 2篇 |
专业分类
电工技术 | 5篇 |
综合类 | 10篇 |
化学工业 | 14篇 |
金属工艺 | 4篇 |
机械仪表 | 5篇 |
建筑科学 | 9篇 |
矿业工程 | 4篇 |
能源动力 | 5篇 |
轻工业 | 9篇 |
石油天然气 | 4篇 |
无线电 | 45篇 |
一般工业技术 | 2篇 |
冶金工业 | 4篇 |
原子能技术 | 1篇 |
自动化技术 | 8篇 |
出版年
2024年 | 1篇 |
2023年 | 3篇 |
2022年 | 4篇 |
2021年 | 4篇 |
2020年 | 4篇 |
2019年 | 4篇 |
2018年 | 6篇 |
2017年 | 3篇 |
2016年 | 3篇 |
2015年 | 2篇 |
2014年 | 4篇 |
2013年 | 2篇 |
2012年 | 1篇 |
2011年 | 4篇 |
2010年 | 6篇 |
2009年 | 9篇 |
2008年 | 3篇 |
2007年 | 12篇 |
2006年 | 12篇 |
2005年 | 3篇 |
2004年 | 3篇 |
2003年 | 7篇 |
2002年 | 2篇 |
2001年 | 4篇 |
2000年 | 2篇 |
1998年 | 2篇 |
1997年 | 4篇 |
1996年 | 3篇 |
1995年 | 2篇 |
1993年 | 1篇 |
1990年 | 2篇 |
1989年 | 2篇 |
1982年 | 1篇 |
1981年 | 1篇 |
1977年 | 1篇 |
1975年 | 1篇 |
1963年 | 1篇 |
排序方式: 共有129条查询结果,搜索用时 9 毫秒
71.
分析了新型片状固态磷平面扩散源(PDS)的掺杂机理,并与液态POCl3源扩散进行了比较,指出可用片状固态磷PDS来替代POCl3实现磷扩散工艺的预沉积。基于PDS预沉积的实验结果,分析了影响方块电阻大小及其均匀性的关键因素,给出了工艺方案,并通过实际产品的电学参数测量结果验证了工艺方案的可行性,可供新型片状磷PDS在大直径硅扩散工艺中的推广使用参考。 相似文献
72.
73.
74.
75.
76.
77.
78.
79.
80.