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本文研究了不同厚度的氧化铝对MIM电容直流和射频特性的影响。在1MHz下,对于20nm氧化铝MIM电容,其拥有3850 pF/mm2的高电容密度和可接受的681 ppm/V2的VCC-α电压系数。1MHz时突出的74 ppm/V2VCC-α电压系数,8.2GHz谐振频率以及2GHz时41的Q值可以从100nm氧化铝MIM电容获得。采用GaAs工艺以及原子层淀积制造的高性能ALD氧化铝MIM电容很有可能成为GaAs射频集成电路很有前景的候选器件。 相似文献
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本文针对朱仙庄煤矿Ⅱ1038工作面切眼在复杂地质条件下大断面施工过程中遇到的技术难题进行研究,根据切眼特殊情况提出相应的支护方案,确定了锚网索支护参数,并对该支护方案的支护效果进行了矿压监测;实践证明该切眼采用锚网索支护技术,既改善了巷遭围岩的变形量,又保证了巷遭陕速掘进,在同类地质条件下大断面施工提供了可靠技术经验。 相似文献
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刘洪刚 《中国新技术新产品》2009,(24):114-115
高速公路和城市快速路的迅猛发展,公路桥梁和城市立交桥大量兴建,由于我国各相关行业对桥梁结构的设计比较重视,技术已相当成熟。相对而言,路桥过渡段上的路基路面研究显得十分薄弱,被列为公路工程质量通病。桥面平整度差、早期损坏较普遍和桥台路基沉陷问题长期以来一直未得到根本的解决。因此,在分析路桥过渡段路基路面常见病害产生原因的基础上,提出了施工质量控制措施。 相似文献