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100nm步进扫描光刻机硅片台掩模台运动结构设计 总被引:4,自引:0,他引:4
本文介绍了基于直线电机、洛仑兹平面电机的0.1μm光刻机6坐标高速超精工件台的结构设计,其在300mm运动范围内,系统的定位精度和运动精度都达到纳米级,且具有优良的速度、加速度、变加速度等动态性能。 相似文献
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由于摆动辗压工艺具有经济、省料、高效、表面质量好、精确等优点,又特别适用于较大工件的变形加工,因此,近几年来国内外研制摆动辗压机的单位越来越多。从目前的情况看,在机架形式上不论是立式,还是卧式, 相似文献
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直线电动机cogging力是影响伺服控制定位精度和跟踪精度的重要因素。目前电动机几何结构优化与有效的控制策略是减小直线电动机cogging力的主要措施。在分析已有研究的基础上,提出了一种完全基于试验的cogging力迭代标定方法,并结合PID位置/力控制策略实现了直线电动机cogging力的补偿。所提出的方法已在气浮结构运动平台上进行了验证,给出了cogging力迭代标定的试验结果,对比了cogging力补偿前后的伺服控制跟踪误差。结果表明了提出方法的实用性和有效性。 相似文献
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提出了一种基于1-D孔列的T形检具,描述了利用该检具检测普通精度数控机床的基本原理和方法,并给出了计算各原始误差项的表达式。所介绍的检测方法可推广应用于数控机床的误差补偿。 相似文献
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