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针对多轴精密同步运动控制的并行计算架构设计 总被引:2,自引:0,他引:2
针对光刻机工作台精密同步运动的需求,提出了一种适用于多轴精密同步运动控制的并行计算架构。介绍了运动控制系统的层次结构,自行定义内部总线协议,实现7块控制板卡间高性能数据传输,具有稳定的高带宽和纳秒级的传输延迟误差;根据工作台同步运动特征,设计并行计算周期规划和同步机制,实现分布式运行的多轴运动控制算法的严格同步。实验结果证明了并行计算架构的有效性。 相似文献
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获取直线电机伺服驱动系统的非线性模型,对这种先进的进给系统的广泛应用有着重要的意义。在对非线性模型建立方法分析的基础上,应用Levenberg-Marquardt优化策略,对前馈BP神经网络建模过程进行了推导。并利用试验获取的^数据,以直接辨识的方式,运用推荐的算法建立了某类型直线电机运动平台的非线性闭环系统模型。在模型的基础上仿真了运动系统的阶跃响应。由响应曲线表明,所获得的模型与实际工况中的系统很相符。 相似文献
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点光源测头光束方向的标定 总被引:1,自引:0,他引:1
指出在采用点光源测头测量物面测点坐标时 ,因光束方向相对于机床坐标系的安装偏角而引起的测量误差问题。提出了一种标定光束方向的方法。设计 V形块做标定的靶标平面 ,通过在 V形块随各坐标轴做等距移动时采样 ,实现了点光源测头光束方向的标定。给出了标定光束方向后的测点坐标计算方法。并设计了仿真程序验证了该方法的可行性。仿真结果表明 ,当测头精度为 0 .0 1m m,光栅尺对机床位移的检测精度为 0 .0 0 2 mm时 ,光束方向的标定误差可以控制在 0 .1mrad的水平 相似文献
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曲面直接插补和组合曲面的自适应加工 总被引:1,自引:0,他引:1
为了提高组合曲面的加工精度和效率,本文论述了曲面直接插补算法和组合自由曲面的混合数控加方法,提出了曲面自适应三角化方法和沿曲面/曲线交线自适应步长加工,这些自适应策略可大大强混合数控加工方法加工组合曲面的能力。 相似文献