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用于MEMS加工的双面深度光刻机对准系统设计 总被引:1,自引:1,他引:0
比较了光刻机中几种常用的对准方式,并分析了其优缺点,在此基础上对双面深度光刻机底面对准系统的设计原理、结构及对准过程做了详细阐述,并进行了对准系统的精度分析,最后介绍了为系统实现所采取的其他技术措施。实践证明,该对准系统应用于深紫外双面深度光刻机中,系统运行稳定、可靠,完全能满足系统的精度要求。 相似文献
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双面深度光刻机控制系统设计 总被引:1,自引:0,他引:1
介绍了当今世界光刻技术的发展趋势,重点阐述了双面深度光刻机控制系统的功能、组成及各组成部分的软、硬件设计,最后简要总结了控制系统的特点。 相似文献
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本文对多起钢筋混凝土楼盖质量事故原因进行了分析总结,提出了杜绝此类质量事故发生的相应对策,以保证人民生命财产的安全。 相似文献
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为了提高大数值孔径投影物镜成像质量,需对镜片进行高精度微调.压电陶瓷是一种高精度定位的执行元件.根据电压控制型压电陶瓷驱动电源的原理,利用运算放大器PA88和OPA2227构成的高压运放式复合放大电路,设计了一种高精度的压电陶瓷驱动器,用于驱动镜片的精密微调.详细阐述了驱动器和供电电源的设计原理,并运用Multisim10软件对该驱动器的输出电压、线性度、静态纹波及稳定性进行了仿真分析.结果表明,该驱动器具有输出精度高,最大非线性误差为0.0005%,静态纹波小(±100 nV),稳定性强等优点,达到了投影物镜中镜片微调要求. 相似文献
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厦门海沧大桥东航道桥是我国建设中的第一座三跨连续钢箱梁悬索桥,其锚碇结构新颖、受力合理、用材经济、外观宏伟。本文作者在大桥建设中曾撰文介绍过锚碇预应力锚固系统的设计与结构特点。本文扼要补充施工要点及锚碇基坑开挖和边坡防护的设计要点等 相似文献