硅氢键对波导表面光滑化影响的理论仿真

低损耗高Q值硅基纳米光波导谐振腔,是高灵敏探测器、生物传感器、光通讯器件等发展的关键。而波导表面粗糙度会造成较大的光传输损耗,是制约硅基纳米光波导谐振腔Q值提高的一个重要因素。降低硅基纳米光波导表面粗糙度已成为光波导器件发展的一个关键问题,氢退火工艺是当前改善波导表面粗糙度的一种关键技术。基于表面硅氢键流密度理论,利用Materials Studio软件模拟氢退火光滑化处理过程中硅与氢之间的反应,搜索反应过渡态,探究硅氢键、温度等因素对反应的影响。结果表明:在高温氢退火氛围下,波导表面硅原子与氢原子之间能够形成硅氢键,且温度越高,在硅氢键作用下表面硅原子迁移速率越快,表面由高能态向低能态过渡,表面光滑化效果越明显。     

加速度传感器的动态特性软件补偿方法研究

本文提出了一种加速度传感器动态测量误差的软件补偿方法,其基本原理是根据加速度传感器的输入输出传递函数,构造出一个软件的补偿算法,这个算法的传递函数的零极点分别与加速度传感器的传递函数的极零点相抵消,从而使加速度传感器的输出信号经过运算后其动态误差得到补偿,扩展了加速度传感器的使用频带。     

聚酰亚胺微型阀及其加工工艺

在回顾微型阀发展并分析单晶硅微型阀和多晶硅微型阀加工工艺基础上,提出一种聚酰亚胺微型被动阀,分析聚酰亚胺的材料性能,设计微型阀结构和加工工艺流程,成功地制造出聚酰亚胺微型阀,测试该阀性能,讨论加工过程中的一些关键工艺。     

纳米光波导光滑技术研究进展

随着半导体工业的发展,集成光电器件的特征尺寸越来越小,纳米光波导表面光滑技术将面临新的挑战。降低纳米光波导表面粗糙度,制造超低损耗纳米光波导,实现其高效片间光互连与片内光耦合,是集成光电子器件,特别是高灵敏微陀螺、生化传感器、光通讯等器件发展的关键。主要分析了光波导表面粗糙度与传播损耗的关系,着重阐述纳米光波导表面光滑工艺方法,包括热氧化法、氢退火法及激光束法的研究现状及最新进展,总结了各类工艺的技术难点与发展前景,并展望其在微机电、光集成方面应用前景。     

Effects of precursor solution concentration on dielectric properties of （Pb,La） （Zr,Ti）O3 antiferroelectric thick films by sol-gel processing

Pb0.97 La0.02 Zr0.95 Ti0.05 O3 （PLZT） antiferroelectric thick films derived from different precursor solution concentrations are prepared on platinized silicon substrates by sol-gel processing.The films present polycrystalline perovskite structure with a （100） preferred orientation by X-ray diffraction （XRD） analysis.The antiferroelectricity of the films is confirmed by the double hysteresis behaviors of polarization and double-bufferfly response of dielectric constant under the applied electrical field.Antiferroelectric properties and dielectric constant are improved while the polarization characteristic values are reduced with the increase of precursor solution concentration.The films at higher precursor solution concentration exhibit excellent dielectric properties.     

Recent progress in the preparation of AuNPs-PDMS composite membranes

Gold nanoparticles-dimethylsiloxane(AuNPs-PDMS) membrane is a novel composite material in biochemical technology an d micro-electro-mechanical system(MEMS) research.It is widely used in biomed ici ne,biochemical detection and en vironmental protection due to its biocompatibility,elasticity and electric char acteristics.In this paper,the characteristics of the composite membrane were d escribed,and four methods for fabricating AuNPs-PDMS composite membranes were reviewed in detail.Besides,the advantages and disadvantages of the four method s were summarized,and the present problems and future researches were proposed.     

一种六边形结构的电容式微机械超声换能器性能分析

为满足超声技术领域对宽频带超声换能器的迫切应用需求,研究了一种新型的六边形结构电容式微机械超声换能器(CMUT)。介绍了CMUT的结构参数与工作原理,采用晶圆键合工艺完成了CMUT的制备,对CMUT的电容-电压特性、电导特性、电纳特性、相位特性、阻抗特性与接收灵敏度进行了测试。测试结果表明,该六边形CMUT具备发射与接收超声波的能力,谐振频率随直流偏置电压增大而减小,接收灵敏度可达-225.97 dB(频率1 MHz),且在频率1～10 MHz内一致性较高,变化量为-2.84 dB,显示出其宽频带特性。该研究可为后续二维六边形结构CMUT阵列的优化设计和性能分析提供有力依据。     

底排弹测试现状及展望

本文在对底排弹测试技术现状调查和分析的基础上,概括出了底排弹测试的两个基本层次,总结了底排弹测试的各种方法,指出了各种测试方法的优缺点。针对现行测试方法在动态领域的不足,探讨性地提出了动态存储测试方法。     

存储测试技术

本文介绍一种由传感器、适配放大器、A/D变换器、存储器、控制器、接口电路及电池组成的微型测试仪器,它具有微小的体积,能耐受高的冲击加速度及较高的环境温度,微功耗,不需引线,能放置到被测体内,如:工作着的内燃机活塞内、高速旋转的部件上、几千米深的石油井下、飞行的弹丸内、啮合中的齿轮上、发射中的炮膛内,应用到许多不便于引线的场合,在被测对象工作过程中把需要的信号纪录下来,待过程结束后取出装置,用计算机读出和处理数据,本文介绍它的组成原理、存储测试理论、精度保证、ASIC及典型应用。     

飞行器动态数据存储测试系统的可靠性分析

本文针对某回收式飞行器动态数据存储测试系统,从可靠性设计理论出发,在建立元器件可靠性模型及分析了飞行器测试系统的应用环境、构成系统可靠性关键元器件工作环境的基础上,对飞行器测试系统进行了详细可靠性预计计算,预测系统是否能达到要求的可靠性指标。在分析了一种可靠性分配算法的基础上,进行可靠性分配,将系统的可靠性指标分配到构成系统的电路单元上。