一种MEMS硅微三维加速度计设计

在压阻式硅微二维加速度计的基础上,提出了一种MEMS硅微三维加速度计.该加速度计微结构包括由四梁-柱体组成的二维水平检测单元和双T型垂直检测单元两部分,通过双T型检测单元和微型柱体与四梁检测单元检测空间三维方向的加速度值.建立了该结构的数学模型并用有限元分析软件Ansys对敏感弹性元件进行力学特性分析.最后对加工出的加速度计进行性能测试.测试结果表明,该加速度计3个方向频响曲线平坦、灵敏度高、线性度好,轴间耦合度小,X向灵敏度为2.17 mV/g,非线性度为0.63％,y向灵敏度为2.08 mv/g,非线性度为0.75％,Z向灵敏度为1.66mV/g,非线性度为1.13％.     

可编程高速采集系统的设计

介绍了一种用可编程逻辑器件实现AD转换器对多通道模拟信号进行任意采样电路,从而实现可灵活编程高速采集系统的解决方法.通过分析传统的多通道模拟信号的采集系统电路的特点,介绍了多通道可编程采集系统的总体设计方案及其原理,并详细描述了各个模块之间的工作时序和状态关系.     

任意波形发生器的研究

本文介绍一种以8098单片机为控制器的任意波形发生器。它是利用高速D/A变换器将一定的数据直接合成为所需的模拟波形。其点输出频率是由电压来控制的,最高点输出频率达到10MHz。该发生器配有标准RS-232接口,可和PC机直接进行串行通讯,实现多种波形数据输入方式。波形输出有单次和周期两种方式;输出信号不仅可供模拟电路作信号源使用,也可供数字电路作为时序分析信号(从脉冲输出端提供)。另外,它还能作为多通道数据采集器。     

网状组织在拉拔过程中的变化

晶界处的网状组织在拉拔过程中会重新分布,网状组织的中碳钢丝在适当的拉拔条件下也可获得良好的拉拔性能.本文以中碳钢、高碳钢两种原材料为试验对象,分别用特殊工艺和常规工艺细拉至相同直径的成品丝,并对其拉拔性能进行了比较.     

基于FLASH存储器的采集系统的应用研究

介绍了一种用FLASH存储器作为弹上数据存储介质的数据采集系统,在简单介绍FLASH存储器的基础上,着重从FLASH存储器的逻辑控制、读写编程等角度进行了硬件电路设计和软件设计.     

单芯片集成加速度计陀螺的研究

讨论单片集成加速度计陀螺的结构及其工作原理，并对单结构加速度计陀螺的加速度信号和陀螺信号的分离进行了阐述．在以往的微型惯性测量组合中，加速度计和陀螺是分离的，这样将产生较大的轴间耦合误差．设计了双质量块振动系统，利用一个敏感头同时测量加速度和陀螺信号．在此基础上讨论了陀螺的驱动电路与信号检测电路．     

基于共振隧穿二极管的矢量水声传感器设计

提出了一种基于共振隧穿二极管(RTD)的矢量水声传感器,传感器采用共振隧穿二极管作为敏感元件,共振隧穿二极管布置在传感器结构中柱体的四周边缘.两个反方向变化的基于共振隧穿二极管的振荡器的输出信号通过信号处理电路预处理后输入微处理器,计算出声源水平方位角和声压.分析并设计了基于共振隧穿二极管的振荡电路、矢量水声传感器物理结构以及制作工艺,讨论了传感器信号处理方法.     

微型惯性测量系统及其应用

目的 对微机电系统（MEMS）和微型惯性测量系统的国内外现状,国家政策进行介绍,讨论微型惯性测量系统（MIMS）应用技术。方法 结合世界各国政府对该技术的政策导向和我国的对策,在应用技术方面,采用系统优化,设计专用集成电路并采用抗高过载方法。结果与结论 模块化集成方法能够满足部分需求,已在我国一些重大型号上获得应用,微型惯性测量系统是今后需要重点研究的微机电系统之一。     

实时监测系统数据处理和动态曲线绘制方法

数据处理和曲线绘制是实时监测系统不可或缺的组成部分.实时监测系统由前端数据采集模块、数据传输通道和后端监测模块组成.分析各种数据传输方式的特点,讨论前端采集模块中数据组织和发送的一般方式,研究后端监测模块中数据处理和曲线绘制的基本流程.针对常规曲线绘制方法效率较低、显示死板等缺点,提出基于内存拷贝数据更新方式的动态曲线绘制方法.使用API相关函数优化曲线绘制程序,使程序执行效率有较大提高,可以保证测试系统实时性要求.     

基于两步法阳极氧化的TiO_2纳米管阵列制备研究

采用低浓度的无机溶剂HF溶液(0.05%,质量分数)对溅射在硅基底上的400 nm钛薄膜进行阳极氧化制备TiO_2纳米管阵列,并利用SEM对制备出的TiO_2纳米管阵列进行表征。实验结果表明,通过优化阳极氧化电压幅值、电压施加方式和氧化时间,均可有效控制纳米管阵列的尺寸和形貌。首先施加0.5 V的低电压28 min,在低浓度的HF溶液中阳极氧化钛薄膜制备TiO_2纳米管阵列,其管径可达120 nm左右。在此基础上,对电压施加方式进行改进,提出两步法施加电压方式,并优化氧化时间,在硅基底钛薄膜上制备出管径为100~270 nm结构紧密有序的TiO_2纳米管阵列,明显优于钛薄膜在有机电解液中氧化制备的管径为70~100 nm的TiO_2纳米管阵列。