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11.
介绍了由井下PTCR热散式流速传感器和井口单片机数据采集系统组成的油井注入液体流速检测系统。解决了井下高粘度、低流速流体测量的问题。  相似文献   
12.
设计并研究了一种硅基PZT压电悬臂梁驱动扫描微镜器件.这种扫描微镜采用单晶硅平面微镜面作为光扫描反射元件,由硅基压电复合弹性悬臂梁作为驱动机构控制水平微镜面偏转实现光信号的扫描.整个光扫描微器件可以阵列方式集成在单个硅芯片上,形成光扫描器阵列.采用数值有限元分析的方法模拟和优化了压电复合弹性悬臂梁驱动扫描微镜的力学性能.分析表明,微镜偏转角与压电悬臂长度和工作电压呈线性关系.在研究了影响光学扫描微镜机电性能各项因素的基础上,给出了器件结构优化的方法.  相似文献   
13.
用于振动能量收集的MEMS压电悬臂梁   总被引:4,自引:0,他引:4  
本文介绍了一种MEMS悬臂梁器件,将环境中的振动机械能转化为电能.该悬臂梁的主体材料为单晶硅,其上覆盖一层用Sol-Gel法制备的PZT压电材料,利用压电材料的正压电效应实现机电能量的转换.论文给出了悬臂梁式振动能量收集器的一个简单理论模型.器件采用(110)硅基片,有利于通过湿法腐蚀制备质量块.质量块可以用来降低器件的谐振频率,并提高输出电功率.尺寸参数为3600μm×270 μm的器件样品的测试结果表明,在其谐振频率1673Hz,振幅为11nm的振动条件下,该器件的最大输出功率大于1nW,即0.11 μW/cm2.  相似文献   
14.
设计了一种硅基PZT压电悬臂梁式微麦克风。这种微麦克风采用压电多层膜悬臂梁作为声压感受器件,采用有限元耦合场分析的方法对压电复合膜悬臂梁进行了有限元分析和模拟,研究了压电复合多层膜悬臂梁的结构参数与力学性能的关系,分析了影响微麦克风机电性能的多种因素,给出了优化的器件结构和工艺流程。  相似文献   
15.
介绍了基于非晶硅薄膜晶体管的室温红外探测器的基本特征及性能指标,对晶体管宽长比对探测器性能的影响进行了理论分析,分析表明,提高晶体管的宽长比可以改善探测器的探测率。为了克服传统微桥结构室温红外探测器成品率低的不足,提出了一种新的热绝缘材料,并将该材料应用到了非制冷红外探测器中,实际制备了探测器单元,对该材料的热绝缘能力进行了验证。  相似文献   
16.
设计了一种硅基PZT压电悬臂梁式微麦克风。这种微麦克风采用压电多层膜悬臂梁作为声压感受器件,采用有限元耦合场分析的方法对压电复合膜悬臂梁进行了有限元分析和模拟,研究了压电复合多层膜悬臂梁的结构参数与力学性能的关系,分析了影响微麦克风机电性能的多种因素,给出了优化的器件结构和工艺流程。  相似文献   
17.
在高等教育改革和发展的新形势t独立学院要持续健康发展,不断提高办学质量,应进行人才培养目标与人才培养模式的研究与实践。本文从科学定位、优化专业结构、加强教学基本建设、教学管理制度的改革等方面对该问题进行了研究与实践。  相似文献   
18.
结合油田井下流速测量的特点,论述了一种适用于井下测量的低流速、高粘度油井注入液体流速检测的新型传感器。该传感器采用PTCR自热耗散原理检测油井注入液体流速。解决了井下空间狭窄、流体粘度大、工作温度偏高、环境压力偏大等测量难题。设计并制造了井下PTCR热耗散式流速传感器。实验和试用结果表明,该传感器具有良好的重复性和可靠性,对石油测井具有很大使用价值。  相似文献   
19.
硅基PZT压电驱动MEMS光开关的设计与优化   总被引:2,自引:0,他引:2  
采用压电多层悬臂梁理论分析模型,研究了一种新型PZT压电复合多层膜悬臂梁驱动光开关的机械性能,探讨了结构参数与悬臂梁机械性能的关系及影响光开关机电性能的因素。提出了一种新的硅基PZT压电复合膜悬臂梁驱动光开关的制作方法。给出了25V工作电压下优化的器件结构,并对理论分析结果与压电复合多层膜悬臂梁的有限元耦合场分析结果进行了比较。  相似文献   
20.
土壤有机碳动态是土壤碳循环研究述国内外影响农田土壤有机碳(SOC)动态的因素,列举近年来SOC动态研究中新方法的应用,综合评价各方法的优缺点和适宜使用范围提出SOC动态研究中存在的问题,并指出今后SOC可能的研究方向.  相似文献   
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