全文获取类型
收费全文 | 117篇 |
免费 | 15篇 |
国内免费 | 11篇 |
专业分类
电工技术 | 10篇 |
综合类 | 6篇 |
化学工业 | 19篇 |
金属工艺 | 2篇 |
机械仪表 | 6篇 |
建筑科学 | 30篇 |
矿业工程 | 1篇 |
能源动力 | 9篇 |
轻工业 | 6篇 |
武器工业 | 2篇 |
无线电 | 17篇 |
一般工业技术 | 13篇 |
冶金工业 | 12篇 |
自动化技术 | 10篇 |
出版年
2024年 | 1篇 |
2023年 | 6篇 |
2022年 | 3篇 |
2021年 | 7篇 |
2020年 | 1篇 |
2019年 | 2篇 |
2018年 | 2篇 |
2016年 | 3篇 |
2015年 | 8篇 |
2014年 | 7篇 |
2013年 | 1篇 |
2012年 | 5篇 |
2011年 | 7篇 |
2010年 | 10篇 |
2009年 | 4篇 |
2008年 | 17篇 |
2007年 | 6篇 |
2006年 | 7篇 |
2005年 | 4篇 |
2004年 | 4篇 |
2003年 | 4篇 |
2002年 | 6篇 |
2001年 | 3篇 |
1998年 | 4篇 |
1997年 | 4篇 |
1996年 | 3篇 |
1995年 | 1篇 |
1994年 | 1篇 |
1993年 | 2篇 |
1992年 | 2篇 |
1991年 | 2篇 |
1987年 | 1篇 |
1986年 | 1篇 |
1985年 | 2篇 |
1984年 | 1篇 |
1983年 | 1篇 |
排序方式: 共有143条查询结果,搜索用时 15 毫秒
41.
通孔消失是困扰半导体生产的难点之一.它与产品的生产合格率息息相关,正因为如此这一问题一直摆在业界工程师面前.由于这一问题的成因较多,故在分析和解决问题上存在诸多困扰.本文实验并分析了多种通孔消失的实效模型,结合先进的缺陷测试手段对其给出了不同的解决方案.此外,对相应的光刻胶也进行了研究并将缺陷密度与光刻胶的分辨率相联系,通过研究发现较低的分辨率的光刻胶的缺陷密度也相应较低. 相似文献
42.
随着芯片价格的降低,为了获得更多的利润,业界必须不断向着更小(芯片尺寸)和更大(硅片面积)迈进。尽管300mm硅片与ArF光刻技术的组合已经成为了110nm以下先进工艺的主流,但是200mm硅片及KrF光刻技术以其成熟的技术、低廉的价格也在这一领域占有一席之地。由此,如何在110nm以下的技术中选择使用KrF光刻技术取代主流的ArF光刻技术成为了业界共同关心的话题。就光学复杂性本身而言,使用KrF光刻技术实现90nm技术节点,其K1因子已经达到了惊人的0.29,这与使用ArF光刻技术实现65nm技术节点可谓旗鼓相当。本文着重评估和研究了90nm技术节点上,KrF光刻技术实现多晶硅栅电极、金属1和接触孔的工艺表现。基于实验数据发现,基于先进的KrF光刻技术可以量产90nm工艺。 相似文献
43.
通孔消失是困扰半导体生产的难点之一.它与产品的生产合格率息息相关,正因为如此这一问题一直摆在业界工程师面前.由于这一问题的成因较多,故在分析和解决问题上存在诸多困扰.本文实验并分析了多种通孔消失的实效模型,结合先进的缺陷测试手段对其给出了不同的解决方案.此外,对相应的光刻胶也进行了研究并将缺陷密度与光刻胶的分辨率相联系,通过研究发现较低的分辨率的光刻胶的缺陷密度也相应较低. 相似文献
44.
45.
随着电子政务的不断发展,对众多业务系统进行全面、集中的运行健康状态的实时监视是非常必要的,建立一套业务系统的实时自动的监控系统,不但能缓解运维压力,减轻运维人员负担,提高管理水平,同时也增强了系统的稳定性。作者以检验检疫业务系统实时监控软件为例,介绍了实时监控软件的设计原则、系统结构、功能设计、关键技术和实现的方法。 相似文献
46.
47.
48.
大型塔机是超高层建筑钢结构施工的关键设备。因此,在合理选择塔机并加以布置的基础上准确地使用是至关重要的。我们经过上海金茂大厦、南京紫峰大厦、广州新电 相似文献
49.
钢铁和铝在氯磺酸溶液中发生表面钝化现象,是比较价廉易得的理想防腐蚀材料,但要严格防止水及水汽进入系统。整个氯磺酸生产中的腐蚀现象主要集中在氯化氢合成部分和铸铁管冷凝器部分。 相似文献
50.