叉指式微硅加速度计的参数化设计

详细阐述了微硅加速度计的原理,根据材料力学以及结构动力学原理,分析了叉指式驱动/检测结构的动力学模型,推导了等效质量、等效阻尼、等效刚度等关键参数模型,分析了灵敏度、横向干扰等和结构参数的关系,为微硅加速度计的优化设计与改进提供了理论指导,实现了最优化设计和仿真.     

一个自由曲面的CAD／CAM集成系统──KD－SCADM系统

介绍一个自由曲面的ＣＡＤ／ＣＡＭ集成系统ＫＤ－ＳＣＡＤＭ的功能及其集成特点。在ＫＤ－ＳＣＡＤＭ里能够设计自由曲面的形状，生成在五坐标系统里加工制造自由曲面的ＮＣ指令和仿真加工过程，并能通过计算机串行通讯直接由计算机控制机床的加工。     

多体系统理论在数控加工精度软件预测中的应用

基于多体系统理论和虚拟加工技术的基本原理,阐述了多体系统的特征矩阵,研究了数控机床刀具成形函数和空间误差模型,提出和分析了机床加工精度软件预测的建模方法,最后为了验证所述精度预测方法的有效性,进行了软件预测和实体加工的加工精度比较实验.     

超精密机床的变增益交叉耦合控制研究

超精密加工的轮廓精度控制直接影响到工件的加工精度,交叉耦合控制算法通过对２轴进行协调而影响轮廓控制精度。在分析超精密数控机床误差模型的基础上,将变增益交叉耦合控制算法引入超精密数控机床的伺服控制。实验结果表明：变增益交叉耦合控制算法可以在不改变位置环的情况下,有效提高系统的轮廓精度。     

DSP在超精密CNC系统中的应用

超精密数控系统由于极高的精度指标和大量的插补运算,对伺服控制系统的运算能力提出了很高的要求。数字信号处理器(DSP)基于高效的运算能力、良好的开发环境支持,在超精密数控系统中获得了成功的应用。现对超精密数控系统中DSP的应用进行了分析研究。     

光学表面中频误差的控制方法-确定区域修正法

提出了一种有效控制光学表面中频误差的方法——确定区域修正法。给出了确定区域修正法的基本思想和工作流程,并基于最大熵原理对抛光盘运动参数进行了优化选择(行星运动方式转速比为-1或0,偏心率为接近于0但不等于0)。最后,在Φ100 mm K9玻璃平面镜上进行了抛光对比实验。实验结果表明,应用确定区域修正法,在1.5 min内可使0.28 mm^-1频率误差对应的PSD值从14.76 nm²·mm下降到3.70 nm²·mm,有效地控制了光学表面的中频误差。与其他方法相比,确定区域修正法的突出优点在于其确定性和高效性。     

一种非线性PID控制器及其参数分析

利用凸组合方法构造非线性PID控制器，并对有关参数进行了分析．通过简单地调节非线性函数的有关参数，这种非线性PID控制器可以形成灵活的增益策略．采用这种控制器，能够使性能指标互为冲突的双方同时取得较好的控制效果．为检验这一方法的有效性和全面性，本文分别对一个延时过程和一个三阶伺服系统进行了仿真，仿真结果表明，这种控制器具有较好的性能．     

多重逆变器的新型差补PWM技术

当多重叠架式逆变器重数过多时系统结构庞大，驱动脉冲的分配也比较复杂，提出一种新型差补逆变器的拓扑结构及PWM的控制方法，利用差补技术在逆变器层数不变的情况下可得到更多的电平，从而改善逆变器的性能，实验结果证实了分析的正确性。     

在STRP法直线度测量中的一种新的插值方法

在误差补偿加工中，用ＳＴＲＰ方法测量直线度是为了获得直线度的评价值，得到逼真的误差曲线，采用一种新的增加测量点密度的方法，具有严密的逻辑推理。仿真和实验结果表明，其正确性和可靠性都是非常高的。     

Relationship between subsurface damage and surface roughness of ground optical materials

A theoretical model of relationship between subsurface damage and surface roughness was established to realize rapid and non-destructive measurement of subsurface damage of ground optical materials.Postulated condition of the model was that subsurface damage depth and peak-to-valley surface roughness are equal to depth of radial and lateral cracks in brittle surface induced by small-radius(radius≤200 μm)spherical indenter,respectively.And contribution of elastic stress field to the radial cracks propagation was also considered in the loading cycle.Subsurface damage depth of ground BK7 glasses was measured by magnetorheological finishing spot technique to validate theoretical ratio of subsurface damage to surface roughness.The results show that the ratio is directly proportional to load of abrasive grains and hardness of optical materials,while inversely proportional to granularity of abrasive grains and fracture toughness of optical materials.Moreover,the influence of the load and fracture toughness on the ratio is more significant than the granularity and hardness,respectively.The measured ratios of 80 grit and 120 grit fixed abrasive grinding of BK7 glasses are 5.8 and 5.4,respectively.