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提出了一种利用隔振框架解耦的硅微陀螺,其驱动模态和检测模态不仅有各自独立的支撑结构,还有各自独立的惯性质量块,隔振框架隔离了驱动结构和检测结构,减小了模态之间的交叉耦合;利用TMAH湿法腐蚀结合深反应离子刻蚀工艺,在n型〈100〉低阻硅片上制作出了微陀螺样片,并为其研制了配套的测控电路;测试结果表明,驱动模态频率为2.981kHz,品质因子为800,检测模态频率为2.813kHz,品质因子为34,刻度因子为38mV/(°/s),线性度优于0.8%,微陀螺在0.5h内的零偏稳定度为0.28°/s. 相似文献
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基于CAD模型的统一工件定位算法与优化 总被引:1,自引:0,他引:1
介绍了基于 CAD模型的工件定位问题 ,利用数学工具描述了三类工件定位问题 ,并给出了统一求解算法 ;在分析算法性能的基础上 ,对定位算法进行了效率和收敛性的优化 ;最后给出了仿真实例 相似文献
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