叉指式微硅加速度计的参数化设计

详细阐述了微硅加速度计的原理，根据材料力学以及结构动力学原理，分析了叉指式驱动／检测结构的动力学模型，推导了等效质量、等效阻尼、等效刚度等关键参数模型，分析了灵敏度、横向干扰等和结构参数的关系，为微硅加速度计的优化设计与改进提供了理论指导，实现了最优化设计和仿真。     

纳米机械和微机械中杆的晶格振动量子化

应用量子统计理论中的Dyson方程推导了具有简单立方单原子晶体结构的纳米机械和微机械中杆的声子格林函数，并以此为基础，对晶格振动进行量子化，为应用量子理论研究MEMS及其构件奠定了基础。     

纳米机械和微机械中杆的晶格振动内能与比热的理论研究

根据具有简立方单原子晶体结构的纳米机械和微机械中杆的晶格振动量子化的结论 ,推导了杆的晶格振动内能和比热的公式 ,并采用了神经网络技术进行了数值计算。数值计算结果表明 ,单位质量的杆的晶格振动内能随尺寸的增加而增加 ,而比热容随尺寸的增加而减小     

金刚石车削工件表面轮廓的仿真与分析

对振动情况下加工的工件表面的三维形貌进行了仿真 ,并从理论上对工件表面形貌的径向、周向与刀具螺旋轨迹方向的截面轮廓进行了分析。结果表明 :不同的截面轮廓分别载有不同的表面特征信息 ,利用这些特征有助于对刀具与工件间的相对振动进行辨识。采用有关文献中的试验数据对仿真结果进行了验证     

超精密车床主轴回转误差运动动态测试的数据采集

介绍了超精密车床主轴回转精度动态测试的数据采样方法及其采集系统的硬件和软件。试验表明该采集系统调试方便，效果良好。     

光学非球面复合加工机床的设计与精度分析

介绍了集铣磨成形、研磨、抛光于一体的大中型非球面光学加工机床(AOCMT)，分析了其设计方法、结构特点和主要技术参数；通过X、Y、Z、A、C五轴数控联动，AOCMT能加工出任意复杂的光学表面，且始终保持刀具轴线位于加工点的法线方向，以消除非对称误差的影响；研究了各运动轴定位误差对铣磨精度的影响，通过采取必要的工艺措施，AOCMT的铣磨精度能稳定地优于8μm；分析了AOCMT的后置处理算法，通过坐标平移和旋转，得到了三、四、五轴数控加工的通用坐标变换公式。     

光学镜面离子束加工的可达性

提出了离子束加工可达性问题的理论描述和定义,分析了驻留函数解的存在条件,进而分析了采用不同直径的离子束去除不同频率面形误差时额外去除量的大小,最后进行了仿真验证。分析结果表明,对于高斯型的束函数,驻留函数解总是存在的。但是面形误差频率越高,驻留函数解越大,去除面形误差时去除的额外材料越多。额外的材料去除量随着离子束径和空间误差波长之比(d/λ)的增加而指数增加。当d/λ=0.5时,额外材料去除量为15%,还是可以接受的;当d/λ=1时,额外材料去除量迅速上升到73%,该值即很难被接受。理论分析和仿真结果表明,为了优化加工过程,d/λ应该＜0.5。     

Defect-free surface of quartz glass polished in elastic mode by chemical impact reaction

Removal of brittle materials in the brittle or ductile mode inevitably causes damaged or strained surface layers containing cracks, scratches or dislocations. Within elastic deformation, the arrangement of each atom can be recovered back to its original position without any defects introduced. Based on surface hydroxylation and chemisorption theory, material removal mechanism of quartz glass in the elastic mode is analyzed to obtain defect-free surface. Elastic contact condition between nanoparticle and quartz glass surface is confirmed from the Hertz contact theory model. Atoms on the quartz glass surface are removed by chemical bond generated by impact reaction in the elastic mode, so no defects are generated without mechanical process. Experiment was conducted on a numerically controlled system for nanoparticle jet polishing, and one flat quartz glass was polished in the elastic mode. Results show that scratches on the sample surface are completely removed away with no mechanical defects introduced, and microroughness（Ra） is decreased from 1.23 nm to 0.47 nm. Functional group Ce — O — Si on ceria nanoparticles after polishing was detected directly and indirectly by FTIR, XRD and XPS spectra analysis from which the chemical impact reaction is validated.     

电动车异步电机驱动技术的应用和发展

本文讨论了电动车异步电机驱动技术的应用和发展,提出了需解决的几个方面问题.     

考虑特征差异的多特征工件依次定位

现有的工件定位算法对于多特征工件按照组合特征进行定位,而实际上不同特征对于定位结果的影响是不同的。考虑到工件各个特征之间的差异,在深入研究多特征的位形空间理论的基础上,参考形位误差评定问题中多基准建立的过程以及对称工件定位算法,提出了多特征工件依次定位问题和算法,按照一定准则(如特征本身精度高低)对各个特征依次进行定位。仿真试验表明该算法更符合实际。