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91.
研究了采用感应耦合等离子体原子发射光谱技术表征高剂量氧注入单晶硅制备SIMOX SOI材料过程中金属杂质污染的有效性.同时研究了采用强酸清洗、加SiO2 膜覆盖等方法对降低污染程度的效果.利用ICP技术可以对大面积或整个硅片进行采样,检测结果是一种整体的平均效果.采用强流氧注入机进行高剂量氧注入,发现金属杂质污染元素主要是Al、Ar、Fe、Ni;注入后强酸清洗样品可有效降低Al污染;6 0nm厚的二氧化硅注入保护膜可阻挡一半的上述金属污染. 相似文献
92.
93.
本文详细介绍了在计量原始数据整理、加工过程中Williams-chauvenet判据和F.E.Grubbs方法的应用。对计量原始数据的合理利用有参考价值。 相似文献
94.
本文根据传热学理论,基于富里叶方程,导出了测温一次元件加保护套管后产生的测温误差计算公式,并指出了减小这种误差的方法。 相似文献
95.
96.
曙光5000芯片组是曙光5000计算单元中的系统控制器,它通过HT接口连接两颗CPU并提供高速网络通信能力。为了确保曙光5000芯片组的功能正确性,我们为其设计了系统级功能验证平台SVP。SVP采用分层结构对系统进行建模,通过对本地计算单元的系统软件行为、硬件平台功能以及远程计算单元的网络行为进行模拟,提供了接近真实系统的验证环境。在曙光5000芯片组的验证过程中,SVP发现并排除了逻辑设计中的大多数功能错误,通过并行验证加速了验证覆盖率的收敛过程。 相似文献
97.
沥青与集料交互作用能力的评价指标 总被引:2,自引:1,他引:1
沥青-集料的交互作用能力是影响沥青混合料路用性能的重要因素.为了客观真实地表证沥青-集料交互作用能力,利用动态剪切流变仪(DSR)对沥青与4种集料作用后界面流变特性的变化进行了研究,结果证明了用三指标——沥青-集料交互作用系数B、复数剪切模量系数ΔG*和复数粘度系数Δη*表征沥青-集料交互作用能力的正确性和可行性.试验结果的灵敏度分析进一步表明:与复数剪切模量系数ΔG*和复数粘度系数Δη*相比,沥青-集料交互作用系数B表征沥青-集料交互作用能力具有更高的区分度. 相似文献
98.
本文介绍了一种能对合成氨厂半水煤气、变换气,弛放气等生产气进行准确计量的温度、压力自动补偿流量测量系统,监导出了DDZ-Ⅲ型仪表构成此系统时各单元仪表的转换系数及整个系统的输出电流与被测气体流量的运算关系式。 相似文献
99.
为了研究低温寒冷地区沥青胶浆的交互作用能力及流变性能,采用动态剪切流变仪(DSR)对经历不同冻融循环次数后的石灰岩和花岗岩矿粉沥青胶浆进行频率扫描试验,并采用多种方法对试验数据进行分析处理.结果表明:未经历冻融的沥青胶浆及冻融循环次数达到59次之前的沥青胶浆,其主曲线在高频低温区叠合较好,而在低频高温区出现了严重的分叉,表明沥青胶浆在低温时为均相共混体系,高温时存在"时温叠加失效";主曲线、Han图、vGP图和Cole-Cole图分析均表明,经历59次冻融循环之后沥青胶浆在低温下表现出明显的相分离,Cole-Cole图中曲线不再表现出半圆单弧特征,说明沥青胶浆交互作用能力减弱,沥青与矿粉填料之间的微观界面已被破坏. 相似文献
100.