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51.
利用表面活性剂有效去除ULSI衬底硅片表面吸附颗粒   总被引:2,自引:0,他引:2  
李薇薇  刘玉岭  檀柏梅  周建伟  王娟   《电子器件》2005,28(2):283-285
甚大规模集成电路(ULSD)对衬底硅片表面洁净度的要求越来越高。抑制颗粒在衬底表面的沉积,应使衬底表面与颗粒表面必须具有相同的ξ-电势。表面活性剂具有润湿作用,能够降低表面张力,可以控制颗粒在硅片表面的吸附状态。实验证实在清洗液中加入适当的表面活性剂能够达到较好的去除颗粒的效果,实现工业应用。  相似文献   
52.
一种新型的LCD清洗剂   总被引:2,自引:0,他引:2  
详细分析了目前液晶显示屏狭缝中的污染物来源,通过大量实验利用有机碱、活性剂和JFC找到的一种新型LCD清洗液,并且达到了较好的清洗效果,形成了一整套新型的清洗技术.  相似文献   
53.
IC制备中钨插塞CMP技术的研究   总被引:1,自引:0,他引:1  
对目前超大规模集成电路钨插塞化学机械全局平面化(CMP)的原理及工艺进行了分析,对钨抛光浆料的组成成分进行了研究,开发了一种能够适合工业生产的钨的碱性抛光浆料,并对钨抛光浆料今后的发展进行了展望.  相似文献   
54.
对SiO2磨料抛光蓝宝石衬底片进行了研究。结果表明,采用大粒径、高浓度的SiO2磨料抛光,可以获得良好的表面状态和较高的去除速率。抛光的适宜温度及pH值条件为:T=30℃;12.0>pH值≥9.0。并且,在抛光时应加入适量添加剂,方可获得较为理想的表面状态和较高的去除速率。实验同样证明,这种低成本、高质量的抛光除了可以应用于蓝宝石的抛光以外,还可以应用在其它一些硬质材料的抛光工艺中。  相似文献   
55.
针对实际生产需求,分析全自动四轴弯管机的工作原理,提出基于触控一体机和STM32F407VETx的控制方案,完成了弯管机的机械结构和控制系统设计,编写与调试了系统软件。直观的人机界面给系统维护和调试人员带来了很大的方便,整体弯管效率显著提高。  相似文献   
56.
通过介绍国外配电管理系统的一般情况,及国外一体化的配电管理系统,论述了国内实现配电管理系统的必要性及意义。  相似文献   
57.
斜拉索风致动力疲劳损伤的研究   总被引:2,自引:2,他引:0       下载免费PDF全文
研究了斜拉索风致振动的疲劳损伤问题。首先,根据 Miner 线性累积损伤原理,给出了结构疲劳损伤的计算公式。其次,根据高周疲劳的特性,我们假设斜拉索的疲劳损伤符合 Basquin 疲劳估算模型。第三,在综合目前疲劳损伤既有研究的基础上,进一步提出评价不同风速和不同风攻角对斜拉索疲劳损伤影响的框架。最后,以松花江斜拉桥中的斜拉索为对象,基于动力时程法计算分析了在不同风速和不同风攻角情况下斜拉索上各节点的应力时程,再使用雨流计数法统计斜拉索的应力-应变循环历史,估算出在不同风速和不同风攻角下斜拉索的疲劳损伤。于是,定量地评价了在不同风速和不同风攻角对斜拉索疲劳损伤的影响。  相似文献   
58.
采用不同粒径的纳米二氧化硅磨料对蓝宝石晶圆进行化学机械抛光(CMP).结合实验与量子化学参数的仿真计算,研究了磨料粒径对抛光后蓝宝石晶圆表面性能的影响及其材料去除机制.结果表明:在CMP过程中,纳米二氧化硅磨料与晶圆表面发生了主要基于磨粒表面羟基官能团与加工材料表面之间强相互作用的固相反应.提出了磨粒粒径影响固相反应强度的机制.纳米二氧化硅磨料在蓝宝石CMP中对材料的去除是机械磨损和化学反应共同作用的结果,磨料的粒径是影响两者动态平衡的重要因素.建议采用混合粒径纳米二氧化硅磨料来抛光蓝宝石.  相似文献   
59.
目的 分析2016年中国食源性疾病暴发事件的流行病学特征。方法 对我国“食源性疾病暴发监测系统”收集的2016年食源性疾病暴发资料进行统计分析。结果 2016年31个省、自治区、直辖市和新疆生产建设兵团共上报食源性疾病暴发事件4 056起,累计发病32 812人,死亡213人。在病因明确的2 435起事件中,毒蘑菇引起的事件数和死亡人数最多,分别占40.7%(991/2 435)和74.1%(146/197);微生物性因素引起的发病人数最多,占59.3%(12 910/21 769)。结论 微生物性食源性疾病仍然是我国重要的食品安全问题,此外,毒蘑菇中毒事件频发。  相似文献   
60.
目的 建立椰毒假单胞菌酵米面亚种荧光标记扩增片段长度多态性(FAFLP)分型方法,并对4株模式菌株和19株分离菌株进行分型.方法 选用4种低频限制性内切酶(ApaⅠ、EcoR Ⅰ、HindⅢ和PstⅠ)和2种高频限制性内切酶(Mse Ⅰ和Taq Ⅰ)进行组合,对FAFLP预扩增和选择性扩增体系进行优化,用BioNumerics软件对分离株的指纹图谱进行聚类分析,并与VITEK 2 GN生化结果和16S rDNA序列分析进行比较.结果 Apa Ⅰ-G/Taq Ⅰ-G组合将19株椰毒假单胞菌酵米面亚种分为7个群,菌株间最低相似度为80.85%,最高相似度为98.77%.PstⅠ-T/Taq Ⅰ-G组合将19株椰毒假单胞菌酵米面亚种分为10个群,菌株间最低相似度为48.68%,最高相似度为99.67%.两种FAFLP组合均能将菌株进行完全区分,而VITEK 2 GN和16S rDNA序列分析无法将菌株进行完全区分.结论 ApaⅠ-G/Taq Ⅰ-G组合与PstⅠ-T/Taq Ⅰ-G组合FAFLP对椰毒假单胞菌酵米面亚种具有足够的分辨率,本研究建立的FAFLP分型方法可应用于椰毒假单胞菌酵米面亚种的分子分型和溯源.  相似文献   
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