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基于Parylene的柔性生物微电极阵列的制作 总被引:1,自引:0,他引:1
在神经工程中,微电极阵列是神经系统与外界电子电路的接口,其性能决定了整个神经系统的信号采集和刺激的效果.提出了一种基于Parylene的半球形柔性生物微电极阵列.在微电极的制备过程中,使用了光刻胶热熔技术和MEMS技术.半球形形貌的微电极有利于形成和神经组织的良好接触,并且相比同底面积的平板电极,表面积增加为2倍,这有利于降低界面阻抗,降低系统功耗.使用化学气相沉积法沉积Parylene C薄膜作为微电极的封装材料,它具有良好的生物相容性和柔性,可以降低对神经组织的损害.实验结果表明,与此半球形微电极底面积大1.3倍的平板电极相比,半球形微电极的界面阻抗下降了55%,并且界面阻抗随着微电极顶部开口直径的变化而变化.使用Comsol有限元软件进行了电极/组织液液面流出电流密度仿真,仿真结果也表明,微电极的流出电流密度也随着微电极顶部开口直径的变化而变化,因此可以通过调整微电极顶部开口直径来调节电流密度,从而满足不同部位需要不同电流密度刺激的要求. 相似文献
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溅射Ta薄膜的内应力 总被引:3,自引:0,他引:3
本文应用磁控直流溅射方式制备厚度从0.1μm~0.25μm的Ta薄膜,通过改变溅射功率、基片的交流偏压和不同的基片,测定Ta薄膜的内应力。研究结果表明:在通常的溅射条件下,Ta溅射膜的内应力为压应力;随着溅射功率的提高,其内应力逐步增大;当基片偏压升高,内应力也呈上升的趋势,但其对内应力的影响大于溅射功率的改变。不同的基片对Ta膜内应力的大小也有一定的影响。 相似文献
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大量模块或者第三方数据接入以及上层用户定制应用需求的繁杂性必定要求系统在数据传输上具备灵活、通用、可扩展等性能,因此设计和实现一种驿站中间层数据传输方案成为开发人员的一项关键任务.数据接入方面增加统一处理数据的前置层,设计中采用链路连接层、规约处理层、前置管理层的架构并构建了前置实时数据处理库;考虑到跨平台和数据类型区分处理清晰原则,构建了以ICE中间件和JSON串为核心的消息总线数据传输,设计与上层应用程序和前置模块的交互接口.总线传递机制将应用软件层和前置层区分来,按照协定好的消息类型通过总线实现信息交互,屏蔽了系统的多种不同的上层应用需求和前置开发通信协议特性,提高了开发人员的工作效率以及系统本身的健壮性、扩展性,同时也降低了后续维护人员的维护难度. 相似文献
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论述了改进由邻氯甲苯合成CLT-酸的工艺,对溴的回收采用了独创的新方法,降低了生产成本,总产率提高到76%,具备了实现工业化生产的条件。 相似文献