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针对准确与实时检测晶圆表面缺陷的需求,提出了一种基于主成分分析(Principal Component Analysis, PCA)和贝叶斯概率模型(Bayesian Probability Model, BPM)的在线检测算法。首先,改进双边滤波方法以消除晶圆表面图像中的噪声和突出晶圆表面的模式特征。然后,提取晶圆表面缺陷的Hu不变矩、方向梯度直方图(Histogram of Oriented Gradients, HOG)和尺度不变特征变换特征(Scale Invariant Feature Transform, SIFT)。接着,采用PCA方法对特征进行降维。最后,在离线建模阶段构建各种缺陷模式的BPMs;在在线检测阶段采用胜者全取(Winner-take-all, WTA)法判断缺陷的模式和构建新缺陷模式的BPMs。提出算法在WM-811K晶圆数据库中得到了87.2%的检测准确率。单副图像的平均检测时间为40.5ms。实验结果表明,提出算法具有较高的检测准确性与实时性,可以实际应用到集成电路制造产线的晶圆表面缺陷在线检测中。 相似文献
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学生和企业之间职业信息交流不畅是目前各高校的就业服务工作中面临重要问题,构建有效的就业信息服务平台成为解决这一问题的重要途径.对成熟的Web服务技术工作原理进行了深入分析;运用Web服务技术跨平台特点,将学校各部门用不同语言开发的管理信息系统,通过功能的抽取和封装形成Web服务,并对这些Web服务进行整合和扩展,实现基于Web服务的就业信息服务平台.该平台可以减少系统重复建设投资,有助于提高就业服务效率. 相似文献
93.
通过对建筑纯粹性与复杂性手法的研究,从文化的多样性、材料的多样性及人类感觉方式的多样性概括出建筑设计的手法,指出建筑并非只是视觉的建筑,还可以使用更多的手段及感觉来表达。 相似文献
94.
本文建立了生物传感器对婴幼儿米粉中的黄曲霉毒素B_1的检测方法。黄曲霉毒素与其氧化酶发生酶促反应,通过电极产生电流信号,通过与黄曲霉毒素浓度的线性关系来确定含量。结果相对偏差1%,与高效液相色谱法和酶联免疫法结果相比,无显著差异,并且在准确性、分析速度、稳定性方面具有良好的优势。 相似文献
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谐振接地系统发生单相接地故障时,线路健全区段与故障区段的零序电压电流的伏安特性和零序功率方向存在差异。单相接地故障的影响因素多,且呈现随机性,采用单一接地故障特征量的区段定位方法准确率不高。为此,本文提出一种基于多暂态特征量聚类的接地故障区段免阈值定位方法。首先求取发生故障后线路各区段首半波暂态零序电压导数与暂态零序电流之间的伏安特性特征向量和零序功率特征向量,再对两特征量做归一化处理并融合得到综合特征向量,最后由免阈值设定的模糊C均值聚类算法判别健全区段与故障区段。通过仿真案例验证了所提方法的有效性。 相似文献
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文章对内蒙古自治区阿拉善盟戈壁地区风力发电项目水土流失特点进行分析,设计有针对性的水土保持措施体系,有效控制风力发电项目建设过程中的水土流失;并总结出在戈壁地区建设风力发电项目的水土流失治理经验,能够为戈壁地区风力发电项目水土流失防治工作的开展提供良好的借鉴。 相似文献
99.
100.