微控制器MPC56X和AMD闪存的接口技术

本文以摩托罗拉嵌入式Flash微控制器MPC56X为例，主要从俩种接口选择，同步模式触发，寄存器设置三方面介绍它和AMD16M闪存Am29BDD160GB的软硬件接口电路。     

弱碱性抛光液中FA/O 螯合剂和H2O2对Ru CMP的影响研究

Ru作为一种新型阻挡层材料已经应用到了先进的集成电路生产中。但由于金属钌特殊的物理化学性质使其化学机械抛光(CMP)还存在很多问题。为了提高Ru的去除速率,本文研究了FA/O螯合剂和H2O2对Ru的抛光去除速率(RR)和静态腐蚀速率(SER)的影响。实验结果表明,随着H2O2浓度的增加,在抛光过程中,Ru表面形成了致密氧化层,导致Ru的抛光去除速率(RR)和静态腐蚀速率(SER)先增加后减少。通过电化学方法对Ru表面的腐蚀情况进行了分析研究。结果表明,FA/O螯合剂能通过与Ru的氧化物((RuO4)2- 和RuO4 )形成可溶性胺盐([R(NH3)4] (RuO4)2) 提高Ru 的去除速率。同时,为了降低金属Ru CMP后表面粗糙度,在抛光液中加入了非离子表面活性剂AD。     

光学石英基片CMP表面粗糙度的研究

In order to achieve a high-quality quartz glass substrate and to improve the performance of Ti O2 antireflection coating,chemical mechanical polishing(CMP) method was used.During CMP process,some process parameters including pressure,polishing head speed,platen speed,slurry flow rate,polishing time,and slurry temperature were optimized to obtain lower quartz surface roughness.According to the experiment results,when pressure was 0.75 psi,polishing head speed was 65 rpm,platen speed was 60 rpm,slurry flow rate 150 m L/min,slurry temperature 20°C,and polishing time was 60 s,the material removal rate(MRR) was 56.8 nm/min and the surface roughness(Ra) was 1.93 °(the scanned area was 1010 m2/.These results were suitable for the industrial production requirements.     

三峡水利枢纽永久船闸监控系统总体设计

根据三峡永久船闸监控系统总体设计，提出了其监控系统的主要技术要求，即可靠性、实时性、安全性及可维修性，在总结以往设计运行经验的基础上，针对永久船闸过闸运行工艺复杂，安全可靠性要求高且无成熟运行经验可借鉴等特点，着重阐述监控系统的主要功能、结构、组成、可靠性和运行安全保障措施。     

从报装业务看电力市场

根据白银供电局受理的大电力客户报装业务情况，结合地方经济发展前景，充分掌握市场动态，运用统计分析规律，对电力市场信息进行分析，并以此寻找各种影响因素，有计划地进行电力建设，保证电网协调发展。     

固化水压井液体系在塔里木油田的成功应用

塔里木油田牙哈凝析气田的气井经过长期开采,地层压力大幅度下降,有的井储层压力系数已低于1.00,部分井因套管破损,引起高压水层出水,导致修井作业时,压井液密度高达1.20g/cm3才能把高压层压住,致使生产低压层段大量压井液漏失。一方面漏失的压井液会大幅度改变井眼周围的含水饱和度,致使气相的相对渗透率下降,导致完井或修井后气井产量的大幅度下降,同时压井和复产周期较长;另一方面因压井液漏失,出现压井困难,对于高压层和低压漏失层同时存在的井,如果用高密度的盐水修井液压井,会造成低压层的漏失,高压层引起井溢和井涌,反复压井,容易引起井下复杂情况,增加了作业的难度和不安全因素,同时反复漏失和压井,会造成修井后气井产能的大幅度下降,作业周期也大大延长。针对目前低压、多压力层系压井修井难题,塔里木油田引进了固化水压井修井液,有效地阻断了修井液在中低渗储层的渗漏,解决了修井液渗漏的技术难题。     

乳化法制备沥青球的研究

调制沥青的球化过程是制备具有良好圆形度和高机械性能球形活性炭的关键步骤。实验以各向同性高软化点沥青为主要原料,通过加入3嘛％～60wt％的减粘剂获得调制沥青。加热调制沥青,使其处于流动态,采用乳化法实现沥青的球化。借助SMZ800体视显微镜的观测和平均圆形度的测试,确定乳化法所得PSAC圆形度好、粒径分布范围宽。     

生活污水回收处理系统的调试分析

通过对中国华电富拉尔基发电总厂增建的生活污水回收处理系统投产时的运行调试及运行中的化学监督分析,详细阐述了生活污水回收处理系统的工作原理、处理能力、工艺流程以及各项化学监督控制指标的意义。该处理系统投运后,中国华电富拉尔基发电总厂在节能环保方面实现了厂内废水回收处理再利用和零排放的目标。     

TiO2薄膜CMP 抛光液组分的研究

在本文中,采用化学机械抛光(CMP)对TiO2薄膜进行平坦化处理,以降低TiO2薄膜表面粗糙度和提升抛光去除速率。实验基于优化的TiO2薄膜CMP工艺参数,通过研究抛光液组分：硅溶胶浓度、螯合剂和活性剂浓度以及抛光液pH值对材料去除速率和表面粗糙度的影响,获得最佳的抛光液组分。实验结果表明：在磨料SiO2浓度为8 %、螯合剂为10 ml/L、活性剂为50 ml/L,pH = 9.0时,TiO2薄膜材料去除速率(MRR)为65.6 nm/min,表面粗糙度(Ra)为1.26 ?(测试范围: 10 μm×10 μm),既保证了较高去除速率又降低了表面粗糙度。     

超微粉制备技术的现状与展望

对国内外多种超微粉制备技术进行了科学的分类，并介绍了各种方法的原理和优缺点，同时展望了今扣超微粉制备技术的发展方向。