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研究了0.1 - 110 GHz S参数在片去嵌技术,给出了输入、输出端口非对称下的直通-反射-传输线(TRL)和传输线-反射-匹配(LRM)的去嵌算法求解结果。在 InP衬底上设计了TRL和LRM去嵌标准件,采用两种无源元件验证了去嵌结果的正确性,并且对TRL和LRM在0.1-110 GHz范围内的去嵌准确性进行对比。通过在0.1 - 40 GHz运用 LRM方法,和在75 - 110 GHz运用TRL方法,获得了有源器件HBT两频带内的本征S参数,并对去嵌前和去嵌后提取的小信号电流增益及单向功率增益进行对比。通过插值,可得出待测件0.1 - 110 GHz完整的S参数。 相似文献
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