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501.
场发射真空传感器 总被引:2,自引:0,他引:2
场发射真空传感器是采用MEMS加工工艺研制一种新型的基于硅尖阵列场发射原理的微型真空传感器.通过理论分析,确立了该种传感器中硅尖场发射电流与真空度的关系.并利用干法刻蚀工艺,在硅片上制作了高3.2μm,曲率半径小于70nm的200 ×42硅尖阵列.保持阳极与硅尖距离为1μm的情况下,可以观察到阳极电压为10V左右时开始有明显的场发射电流.实验结果表明,在10V-15V的输入电压范围内,通过测试场发射电流所得到的真空度值,其最大误差不超过10%.该真空传感器具有制作简单、易于集成、信号测量容易、自身不带密封腔等优点,具有潜在的应用前景和市场潜力. 相似文献
502.
基于神经网络补偿灰色预测误差的钴离子浓度预测研究 总被引:1,自引:0,他引:1
某厂锌湿法冶炼三段净化过程中的Ⅱ段主要是通过过量添加锑盐和锌粉以除去有害杂质钴离子.本文从现场检测3个月的过程生产数据中.采用SPSS统计学软件深入分析了Ⅱ段净化工矿及其影响因素的相关性,得出了影响Ⅱ段后液钴离子浓度的主要因素,提出采用等维新息灰色预测方法预测Ⅱ段后液钴离子浓度,并采用神经网络补偿灰色预测的误差值.仿真和生产实践证明,该预测模型能够较好地预测Ⅱ段后液钴离子浓度值,从而为优化锑盐和锌粉添加量的操作起指导性作用. 相似文献
503.
CS-3000集散控制系统是日本横河电机株式会社继CENTUM CS后开发的新一代适用于大中型过程控制的综合控制系统,它继承了CENTUM CS功能性、灵活性、可靠性强的特点,是一种通过Vnet将诸如人机界面站(HIS)、现场控制站连(FCS)接在一起的实时控制系统,依靠在人机界面站和现场控制站运行相应的软件,实现操作监视和控制功能. 相似文献
504.
为成型广告机控制盒外壳部分设计了多种抽芯方式组合的模具结构,该结构利用多组不同的滑块完成抽芯,解决了生产中的难题。 相似文献