高数值孔径投影光刻物镜的光学设计

针对45nm节点投影光刻物镜的应用,开展了工作波长为193nm的深紫外浸没式高数值孔径(NA)投影光刻物镜的研究和研制。设计了数值孔径(NA)为1.30的离轴三反射镜投影光刻物镜和NA为1.35的同轴两反射镜投影光刻物镜,并对两个设计方案的优劣进行对比分析,选择了同轴式结构作为最终的设计方案。分析了系统在不同NA情况下可变光阑与其远心度之间的关系,提出了用双可变曲面光阑的设计方案来优化系统的远心度。实验表明,应用本文设计方案,光刻物镜的波像差小于1nm,畸变小于1nm;新型的可变光阑使系统NA在0.85~1.35变化时的最大远心度由5.83~17.57mrad降低至0.26~3.21mrad。本文提出的设计方案为45nm节点高数值孔径投影光刻物镜的研制提供了有益的理论依据和指导。     

反鱼雷鱼雷发展现状及作战使用

随着现代鱼雷越来越智能化,能有效地对付软杀伤反鱼雷措施。直接摧毁来袭鱼雷的硬杀伤措施是舰艇防御的有效手段,其中反鱼雷鱼雷作为导弹反导概念在水下作战空间中的自然延伸,具有举足轻重的地位。介绍了反鱼雷鱼雷的发展历程及现状,阐述了反鱼雷鱼雷的作战使用方法。     

用于超高压化学热压缩的稀土储氢合金研究

具有融氢净化和氢压缩于一体等重要特性的金属氢化物化学热压缩器将成为未来加氢站的核心设备.本文简要介绍了金属氢化物化学热压缩器的工作原理及其特点,针对金属氢化物化学热压缩器对储氢合金的要求,研究开发了一种储氢性能优良、适合于作为化学氢压缩机用的稀土系储氢合金(Mm-Ml-Ca)(Ni-Al)5,测定了合金热力学和动力学性能.利用该合金设计制作了一台氢容量大于1000L、氢压大于40.0 MPa的压缩器样机,在20℃时氢压小于3.0 MPa可吸氢饱和,165℃放氢可得氢压大于40.0 MPa的超高压产品氢.原料氢纯度为98%时,产品氢纯度达到99.9999%.并且对压缩器的热效率进行了计算,其热效率达到21.9%.     

自适应增量策略处理的研究与实现

在IETF基于策略的网络管理体系中,设备端（PEP）的策略配置是通过策略决策点（PDP）的自动分发机制来实现的。对于大规模网络管理系统,PDP的策略分发效率是制约系统整体性能的瓶颈。基于此,提出了一种自适应增量策略处理机(APIP)的数学模型和实现方案,根据PEP在策略库的策略映射集合的变化情况,自动实现策略的增量分发。经实践证明,该系统能够有效减小策略传输数据量,缩短策略请求排队时延,提高策略分发效率。     

钙含量对钢水流动性的影响

钙处理钢水能够在较低过热度下正常浇铸.为弄清楚钙处理影响钢水流动性的原因和确定最佳的钙含量范围,从钙含量和钢水中夹杂物固相率之间的关系方面研究了钙元素在钢水中的行为.分析不同钙含量的钙处理钢试样中的夹杂物成分并利用Al2O3-CaO-SiO2三元相图确定试样中钙铝和钙铝硅酸盐夹杂物在浇铸温度下的存在状态,由此得到钙含量和夹杂物固相率之间的关系.改善钢水流动性最佳的钙含量范围在(17～23)×10-6之间.     

中间包控制汇流旋涡的水模研究

 为了减小中间包汇流旋涡所造成的卷渣对钢质量的危害,就某钢厂现有中间包的各工艺参数对汇流旋涡形成的影响进行了水模实验研究,结果表明：小塞棒高度、小拉速和小中间包水口口径对防止汇流旋涡有利,渣在一定程度上可以抑制旋涡的产生和发展,但渣层的厚度对旋涡没有明显影响;塞棒高度为60 mm、拉速为068 m/min、中间包水口内径为56 mm和有渣是本实验所得的该钢厂实际中间包最佳防止汇流旋涡工艺条件。     

热处理对Ti18Cr24V55Zr3合金吸放氢性能的影响

引言 随着传统化石能源的逐渐枯竭以及环境污染日趋加剧,具有能量转换效率高、清洁无污染以及用途多样化的氢能正逐渐成为新世纪的重要新能源,而与氢能相关的高容量储氢材料的研究开发也日益受到人们的重视.     

石油产品中硫含量测定方法评价

石油产品的硫含量质量指标,是与发动机的腐蚀及环保排放有关的重要项目.测定低含硫产品的准确性,从仲裁试验方法考虑,应评价GB/T 380[1]"燃灯法"同ASTM D4294[2]"X荧光法"两者的一致性.从试验结果分析,高含硫样品,两种试验方法的测定数据均接近;而对低含硫轻质油样品,燃灯法测定数据和X荧光法的高曲线数据均偏高,而X荧光法的低曲线测定硫含量数据较为合理.     

高碱度、高w(Al2O3)渣条件下钢中铝的控制

对高碱度、高w(Al2O3)顶渣条件下,钢中铝的控制以及钢中夹杂物的特性进行了实验研究.结果表明,采用高碱度、高w(Al2O3)顶渣,钢中w(Al) 和w(O) 低且相对稳定,并生成低熔点、球形夹杂物.这一结果有助于提高钢材质量,且为解决连铸水口堵塞提出了1种新的方法.