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类金刚石薄膜内应力的测试 总被引:2,自引:0,他引:2
采用射频-直流等离子增强化学气相沉积法制备出类金刚石薄膜,用弯曲法测定薄膜的内应力。结果表明,类金刚石薄膜中存在1~4.7GPa的压应力,沉积工艺对薄膜的内应力有很大的影响,薄膜的内应力随极板负偏压的升高而降低,陆C_2H_2气体含量的增加而增大。 相似文献
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类金刚石膜的结构与性能研究 总被引:8,自引:2,他引:8
用激光Raman谱和XRD谱对用直流-射频等离子体化学气相沉积法制备的类金刚石膜的结构进行了分析,并研究了工艺参数对膜的沉积速率,内应力和直流电阻率的影响,结果表明,类金刚石膜是由sp^2和sp^3键组成的非晶态碳膜,当负偏压高于300V时,膜中sp^3/sp^2键的比值随负偏压的升高而降低,类金刚膜的沉积速率与负偏压Vb的成正比,膜内存在1~4.7GPa的压应力,随负偏压的升高而降低,膜的电阻率 相似文献
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类金刚石(DLC)膜的制备技术概况 总被引:12,自引:0,他引:12
综述了类金刚石膜的制备方法,以及各种制备方法的基本原理和特点,并分析了各种方法对膜的结构和性能的影响。 相似文献
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为降低交通行业安全生产风险,深入分析以文本形态隐式存在于事故数据中的时空特征及潜在致因,在用户字典模式对文本数据分词的基础上,使用Word2vec结合Sigmoid激活函数,构建交通安全事故词向量模型,对交通行业安全事故关键词进行分类提取,获得分别包含特征及致因属性的两类关键词,并利用Gephi及Neo4j对特征关键词进行可视化分析以及致因主题总结,对事故时空特征及致因关键因素进行深入挖掘。以北京市为例研究发现:交通安全事故主要集中发生在第三季度,且城六区在事故总量上远高于外环城区,但伤亡比例外环城区较高;通过致因关键词总结,发现人为、设备及环境因素是交通安全事故的主要致因因素;结合以上分析结果,提出合理建议,为北京市交通行业安全生产相关管理部门提供信息支持和科学指导。 相似文献