晶须增韧陶瓷刀具切削镍基合金时的切削性能

采用作者近期研制成功的晶须增韧陶瓷刀具,进行了车削镍基高温合金的研究。证明该刀具与国外同类刀具材料相比有相近的耐用度、比Sialon刀具的耐用度有显著提高。文中分析了刀具的磨损原因,提出:刀具的耐磨损性能与刀具材料中晶须的排布状态有关。切削力的测试表明,有一最佳切削速度范围存在。     

极限分辨率为0.55μm的10:1缩小投影曝光装置

<正> 日立中央研究所研制了极限分辨率为0.55μm 的10:1缩小投影曝光装置。过去研制成的RA-101型10:1缩小投影曝光装置,使用波长为436nm 的 g 线,极限分辨率为1.5～1.0μm。而这次研制的装置,使用波长为365nm 的 i 线,提高了分辨率极限。光源仍用过去的500W 高压水银灯,这个灯的发光光谱在365nm 很强。透镜是美国トロパル公司制造的,数值孔径为0.4。从掩模到片子的距离为400nm,焦深为±1μm,分辨率为0.6μm 时 MTF(调制传递函     

光纤技术用1.318μm和1.338μmNd~(3+):YAG固体激光器

根据光纤技术对1.3μmNd~(3+):YAG激光输出的要求,我们研制了1.3μmNd~(3+):YAG固体激光器,在全腔水冷聚光腔和泵浦灯、激光棒分别水冷的聚光腔中,分别获得了阈值750W、连续输出功率900mW和阈值1000W、连续输出功率6W的激光输出。本文报道了该激光器的实验研究和激光输出参量测量结果,同时讨论了获得1.318μm和1.338μm激光输出的途径和方法。     

溅射SiO_2膜的剥离图形

<正>日本电气公司武藏野电气通信实验室最近报导了溅射SiO_2膜的剥离作图方法,他们用这种方法成功地作成了具有斜侧壁的SiO_2图形,与过去用的湿法化学腐蚀和圆筒形等离子体腐蚀方法相比,没有侧向腐蚀而产生的钻蚀,图形精度高。该实验分以下几个步骤(见图):(a)使用一般光刻法在Si衬底上形成正性抗蚀剂(AZ-135)图形,在140℃下进行后烘,这些图形为微米厚,并有60°斜侧壁。(b)用平面rf磁控管溅射装置,在衬底上淀积SiO_2膜。(c)用缓冲氢氟酸轻微腐蚀(30℃,30s),除去淀积     

军用电子装备的电磁防护新技术

对现代军用电子装备的电磁防护的最新技术－－抗核电磁脉冲（NEMP）与雷电电磁脉冲（LEMP）的对策技术以及防信息电磁泄露（TEMPEST）技术等进行了综述。     

建筑暖通项目中的供暖通风节能设计分析

随着我国经济的不断提高,在工程建筑上方面也得到飞速发展,各种暖通空调的应用也是十分的普遍.然而在能源消耗问题上,冬天的供暖和夏天的制冷的需求,造成了工程建筑使用的过程中有一定程度的铺张浪费等问题.随着目前建筑行业的快速崛起,不得不让我们再设计初期提早的考虑到日后房间使用的节能问题.因此,我们需要以身作则,在设计上就解决...