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讨论了铜柱凸块生产工艺中籽晶层厚度和电镀电流密度等关键制程因素对铜柱凸块共面性、晶圆应力、凸块剖面结构和电镀效率等方面的影响.研究结果表明增加电镀籽晶层厚度可以提高凸块共面性;在相同电镀电流密度下,籽晶层越厚,晶圆应力越大;相同的籽晶层厚度下,随着电镀电流密度增加,晶圆应力增加,但增加速率逐渐变慢;低电流密度下铜柱凸块顶部形成盘碟形状的剖面结构,而高电流密度容易使铜柱顶部形成圆拱剖面结构;采用阶梯电镀速率电镀方法与均一慢电镀速率电镀出的铜柱凸块共面性一致,而采用阶梯电镀法既能够提高电镀效率又可以得到较好的铜柱顶部盘碟形剖面结构. 相似文献
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通过在1050°C时氨化Ga2O3/Mg薄膜制备出簇状GaN纳米线。用X射线衍射(XRD),傅里叶红外吸收光谱(FTIR)扫描电子显微镜(SEM)和高分辨电子显微镜(HRTEM)对样品进行测试分析。结果表明,GaN纳米线为六万纤锌矿结构单晶相并且成族生长,直径在200~500nm米左右,其长度可达5~10μm。几乎所有纳米线的直径均有逐渐缩小的趋势。对Mg膜的作用进行了初步的分析。 相似文献
85.
随着通信行业的不断发展,通信电源在各网络系统中的地位越发提高,尤其对于石油专网而言。文中针对石油专网中的通信电源系统进行了研究,分析了该系统的工作原理及结构组成,在此基础上,总结了石油专网通信电源系统维护管理的工作项目及方法。 相似文献
86.
介绍了三峡工程截流期导流明渠和戗堤口门的船模试验和水力学试验情况。采用船模拟试验和水力学试验相结合的方法,以船闸设计规范和有关通航标准为依据,对船模航行参数和水力学参数进行综合分析比较来判别船队通航条件的好坏。 相似文献
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采用磁控溅射技术在Si(111)衬底上溅射Au薄膜,900℃退火生成Au点阵模板,在Au点阵模板上溅射ZnO薄膜,O2气氛下1 000℃退火制备了ZnO堆垒单晶棒。研究了不同直径Au点阵模板对ZnO单晶棒结构性能的影响。采用扫描电镜(SEM)、高分辨透射电子显微镜(HRTEM)、X射线衍射(XRD)、X射线光电子能谱(XPS)对样品结构形貌进行了分析。结果表明,生成有序排列的ZnO棒均由诸多六方纤锌矿单晶堆垒而成,较小Au点阵生成单晶棒的直径约为100nm。室温光致发光PL谱表明在376nm出现一个较强近紫外发射,在488nm附近出现一个较宽的深能级绿光发射,说明所制备样品具有良好的发光特性。 相似文献
88.
采用同种材料制成的叠层PTC热敏电阻器,由于构成并联结构,使电阻降低,有助于低阻化。采用两种不同性能组别的材料制成的叠层结构,可获得过去没有的良好线性化特性,可望扩大其用途。本文根据专利文献介绍了国外叠层PTC热敏电阻器研制动向。 相似文献
89.
枣庄电视转播台使用的TF-3型1kW调频差转式发射机是80年代初购买的全电子管发射机,由于使用的时间较长和机器本身的原因,机器的指标较差,故障率较高,维修量较大,为了继续发挥老设备的作用,对其进行厂改造,收到了很大实效,使机器的稳定性。可靠性和质量指标都有较大提高.1前级激励器部分的改造该机前级采用二次变频方式,接收到的电台信号经高放、下变频、中放、上变频和前级功率放大器等部分,最后输出功率为50W。其电路均采用电子管电路,由于其工作电压较高,电流较大,产生的热量也较多,该部分的稳定性较差,故障较多,技术… 相似文献
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