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提高物理气相沉积TiN膜界面结合力的研究进展 总被引：8，自引：0，他引：8
综述了物理气相沉积ＴｉＮ和合金氮化物超硬膜膜／基界面及过渡层微观组织结构的研究进展，提示了界面微观结构与镀层结合力之间的内在联系，为改善工艺及提高镀层性能提供了理论依据。 相似文献
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