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研究了在MEMS气密性封装中基于Ag-Sn焊片的共晶键合技术。设计了共晶键合多层材料的结构和密封环图形,在221℃实现了良好的键合效果,充N2保护的键合环境下,平均剪切强度达到9.4 MPa.三个月前后气密性对比实验表明氦泄漏不超过5×10-4Pa.cm3/s,满足GJB548B—2005标准规定,验证了Ag-Sn共晶键合技术在MEMS气密封装中应用的可行性。 相似文献
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基于RSSI测距分析 总被引:29,自引:0,他引:29
作为一种全新的信息获取和处理方式,无线传感器网络可以应用在广泛的领域内实现复杂的大规模监测和追踪任务,而网络自身的定位是大多数应用的基础.基于距离的定位是通过测量节点间距来实现的.利用RSSI测距只需较少的通信开销和较低的实现复杂度,这在能量有限的网络节点中是非常重要的.论文分析RSSI测距的原理,实验验证RSSI测试可重复性,在适度的动态环境中RSSI变化有规律性,采用加权和均值法消除环境因素对RSSI测量的影响.实验验证在15 m以内的测距精度可达到2 m. 相似文献
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针对现有基于脉搏波传输时间的无创连续性血压测量算法精度不高的问题,该文综合考虑心电信号和血氧容积波与血压变化的相关性,提出一种基于BP神经网络的无创连续性血压测量方法。该文首先利用改进的心电信号算法提取出心电信号的R点,利用差分、阈值的方法提取出血氧容积波的特征参数,再经过特征解析,提取出与血压相关的15维特征向量,构建基于BP神经网络的血压计算模型,计算出逐拍的血压值。该方法在天坛医院等单位进行了医学临床比对测试,并通过因子分析法分析了15个特征参数的权重比。实验证明:在预测血压上,脉搏波传输时间的权重,大于相邻特征点之间的时间信息权重,大于脉搏波面积信息权重,大于脉搏波幅值信息权重;该方法精度优于其它相近方法,单次测量的舒张压和收缩压误差的平均值标准差分别是-1.576.12 mmHg和-0.624.82 mmHg,重复测量误差的平均值标准差分别是-2.125.10 mmHg和-2.524.41 mmHg。收缩压和舒张压的测量精度均达到了BHS血压标准的Grade A类和AAMI标准。 相似文献
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基于宏电极的单频皮肤阻抗测量是利用阻抗进行皮肤渗透性研究的传统方法之一,其存在误差大、灵敏度低且不易于设备集成的缺点。由此,该文通过分析皮肤的分层生理结构以及皮肤渗透性与角质层(SC)阻抗的关系,设计了基于柔性非对称叉指微电极的皮肤阻抗传感器,构建了RCW分层阻抗模型,实现了对人体角质层阻抗的检测分析。实验结果表明,传感器输出的阻抗模值 和 模型拟合参数可用作表征皮肤渗透性的重要指标。该方法可用于区分不同个体的皮肤渗透性,为人体生理生化检测相关的可穿戴设备参数调节提供依据。 相似文献
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本文就电阻热效应对基于风的拖动力原理的微型固态测风传感器测量精度的影响进行了研究.微型固态测风传感器通过溅射在悬梁上的铂电阻测量悬梁弯曲应变来获得风速信息和简单的风向信息.风吹过铂电阻时,除了应变引起电阻阻值变化外,由于热传导、对流、辐射等热效应,其阻值也会随着风速的变化而变化.当热效应引起的电阻的变化趋势和应变引起的电阻变化趋势相反时,传感器的输出先减小后增大,风速测量产生较大误差.文中对两种铂电阻在悬梁上的放置连接方式的传感器进行了理论分析,通过对利用MEMS工艺制作的两种传感器的测试,证实理论分析与实验结果相符. 相似文献
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为了实现联合收割机工作过程中谷物损失量的实时测量,研究以聚偏氟乙烯(polyvinylidene fluoride,简称PVDF)压电薄膜作为敏感元件的谷物检测传感器,通过由电荷放大、带通滤波、包络检波和电压比较器等构成的信号调制电路,实现谷物冲击信号的检测.为了减小联合收割机振动的干扰,传感器设计为双层隔振结构,分析了减振系统的动力学特性,数值模拟瞬时冲击作用下的响应.将传感器安装在联合收割机振动筛尾端支架上进行谷物检测实验,结果表明,通过合理选择减振材料和调制电路参数,传感器能够从振动噪声背景中有效提取谷粒冲击信号. 相似文献
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外销转内销,机会何在 目前,由于三聚氰胺等一些食品安全事件的发生,国家政府也加大了对食品安全的监管力度,开始着手从政策上预防类似事件的再发生,食品质检制度和相关法律法规也正在完善.在这种趋势下,现有市场上一部分劣质企业就会在一定程度上被清洗.自然而然,新品牌的市场机会就出现了. 相似文献