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为了获得薄膜材料吸收率与深紫外激光照射能量密度间的对应关系,掌握薄膜材料深紫外吸收特性,应制定相应的吸收测量规范。介绍了激光量热法的原理及测试流程,分析了测试过程中的剂量效应、非线性吸收和不可恢复吸收等现象,提出了利用激光量热法测量应用于波长193nm紫外光刻系统的氟化物薄膜材料吸收率的方法,并进行了实际测量。根据所建立的测量方法,获得熔石英基底材料在193nm紫外光照射下的剂量效应及出现不可恢复吸收现象时相应的激光能量密度,进而测量出基底材料吸收率与激光能量密度之间的关系;通过热蒸发对基底镀氟化镁及氟化镧单层膜,测量镀膜后样品的吸收率与激光能量密度的关系,通过与镀膜前吸收率的对比,计算了两种薄膜材料吸收率与激光能量密度的关系,推算出薄膜材料在实际工作状态时的吸收率,并得到不同沉积温度下氟化镧薄膜材料吸收率、粗糙度与波纹度。实验结果证实了新提出测量方法的可行性,测量结果为改善系统成像质量以及延长元件使用寿命提供支持。 相似文献
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介绍利用Pro/E软件对电话机面板注塑模具进行辅助设计的过程,重点阐述应用pro/E模具模块分模的流程.指明采用模具CAD/CAM软件Pro/E来实现模具三维设计,可以大大缩短设计和制造周期,提高产品设计准确性,降低设计成本。 相似文献
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介绍了计算机键盘按键的结构与注塑工艺。阐述了生产按键的注射模结构与工作过程。重点指出了一模多腔、侧浇口自动切断坠落结构的实现策略。并对该模具的制造与选材,注塑工艺的选择作了简要说明。 相似文献
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文中根据从动件的运动要求,建立了凸轮轮廓曲线的数学模型,用Pro/E建立凸轮轮廓曲线,从而建立凸轮的三维模型,然后使用此三维模型进行凸轮的平衡设计.基于Pro/E的凸轮优化设计方法,在满足凸轮的使用要求、保证性能的前提下,可以设计出重量最轻的凸轮,同时节省设计时间、减小设计难度,是对传统设计的重大改进. 相似文献