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101.
溅射法制备高取向Pt薄膜的工艺研究 总被引:5,自引:1,他引:5
采用射频磁控溅射工艺在SiO2/Si衬底上成功制备了适用于pZT铁电薄膜底电极的180nm厚、沿(111)晶向强烈取向的Pt薄膜。厚约50nm的Ti膜被用作过渡层,以增强Pt薄膜与衬底之间的黏着性。实验表明,在Pt薄膜的制备过程中,较高的衬底温度有利于薄膜晶化,促使Pt薄膜沿(111)晶向择优取向生长。而在薄膜沉积后加入适当的热处理工艺,能有效地提高Pt薄膜的择优取向性,同样可以得到沿(111)晶向强烈取向的Pt薄膜。原子力显微镜分析表明,制得的薄膜结构相对致密,结晶状况良好,晶粒尺寸约为50nm。 相似文献
102.
离子色谱装置在测定水中和铀矿浸出液中的阴离子时的应用 总被引:1,自引:0,他引:1
报道了自制的一种YSP2型薄层阴离子交换树脂和一套简单的电导鉴定器系统等组成的离子色谱装置。提供了同时测定水中微量F~-、Cl~-、NO_2~-、PO_4~(3-)、NO_3~-、SO_4~(2-),或Cl~-、SO_3~2-、SO_4~(2-)、PO_4~(3-),或F~-、Cl~-、Br~-等多种阴离子体系的测定条件。本方法已用于测定组成复杂的铀矿浸出液中的F~-、Cl~-、NO_3~-、SO_4~(2-)等阴离子,测定范围可从常量至ppm级浓度,相对标准偏差(测定6次)为6%,回收率为90~105%,也已用于测定水中微量的阴离子,测定的浓度范围为10~(-5)~10~(-7)克/升。 相似文献
103.
104.
105.
利用半导体致冷器可以加热又可以致冷的双向性,研制成双向主动式高精度控温仪。在15~32℃范围内,控温精度高达±0.004℃。用于控制KTP晶体温度,在OPO实验中获得稳定的参量下转换输出。 相似文献
106.
由壳牌基金会提供经费支持,经农业部有关部门批准的"促进中国和国际高效低排放户用生物质炉灶技术创新和推广"项目,已于近日由中国农村能源行业协会节能炉具专业委员会和美国加利福尼亚大学伯克力分校国际健康与发展企业家中心合作完成.按照项目的要求,这项工作于6月18日通过了项目专家组的评审. 相似文献
107.
由壳牌基金会提供经费支持,农业部有关部门批准实施的“促进中国和国际高效低排放户用生物质炉灶技术创新和推广”项目,近日由中国农村能源行业协会节能炉具专业委员会和美国加利福尼亚大学伯克力分校国际健康与发展企业家中心合作完成,并于6月18日通过项目专家组的评审鉴定。 相似文献
108.
109.
110.