微F-P腔可调谐滤波器关键工艺研究

采用表面加工工艺,AZ5214E光刻胶进行光刻并反转,磁控溅射NiCr合金,剥离出高度为2.3μm的金属桥墩,填充聚酰亚胺作为牺牲层,再在牺牲层上光刻、沉积金属形成金属桥面,在金属桥面的中心嵌入第二布拉格反射镜。采用O2等离子体刻蚀去除聚酰亚胺膜,制作成微法布里—珀罗（ F-P）腔,不需要硅片键合,克服了传统F-P腔高度不够高、调谐范围有限、腔平整度不好以及对设备要求高的缺点,并且可以做出大阵列结构,易于探测器集成。着重对腔体关键工艺,即金属桥墩的NiCr剥离工艺进行研究,针对现有技术缺陷,提出解决办法。     

隐蔽式攻击下的离散系统区间观测器设计

本文研究了隐蔽式攻击下的网络化控制系统的安全估计问题.首先,根据攻击保持隐蔽的条件,得到了攻击信号的上界和下界.其次,基于边界信息设计了一类原坐标系下的区间观测器,并进一步通过坐标变换放宽增益矩阵的设计条件,给出了变换下的区间观测器设计方法.然后,提出了基于H_∞滤波理论计算隐蔽式攻击下的最优观测器增益的方法,并通过求解线性矩阵不等式获得最优增益矩阵.最后,通过仿真算例验证了所提方法的有效性.     

双核架构在无线传感器网络节点设计中的应用

研究了采用超低功耗监控微控制器和高性能微处理器相结合的双核架构的无线传感器网络节点的实现.通过选用合适的芯片,从硬件上构建了基于双核架构节点的无线传感器网,基于APTEEN网络路由协议,根据实验环境将层次结构简化为平面结构,并进行了性能测试,将测试结果与现有的基于单核架构节点的的无线传感器网进行比较.结果表明双核架构在低功耗和高性能之间取得了平衡点,相对于单核结构具有以更低的功耗获取更高性能的优势.     

ZnO压电薄膜的生长与应用

本文实验研究了ZnO压电薄膜的生长与表征,运用XRD和SEM测试了磁控溅射生长的ZnO压电薄膜的C轴择优取向生长情况和晶粒质量,比较了Si、覆盖在si基底上的Al薄膜和SixNy薄膜三种材料衬底以及退火处理对ZnO薄膜的结晶质量的影响.还开发了仍然采用Al作为底电极但用一层SixNy薄膜与ZnO层隔离的MEMS压电器件的微制造工艺,以满足生长高质量的ZnO压电薄膜并与CMOS工艺兼容的要求.     

四种生物炭的理化性质及其对亚甲基蓝吸附性能研究

采用限氧裂解法在500℃高温下制备水稻秆、玉米秆、香蕉皮和柚子皮四种生物炭,计算了生物炭的炭产率,利用扫描电子显微镜(SEM)、傅里叶变换红外光谱(FTIR)和X射线衍射(XRD)对生物炭结构、形貌、表面官能团和结晶度等进行表征,并分析其与生物炭吸附性的关系。结果表明,香蕉皮的炭产率最高(39.5%),柚子皮的炭产率最低(32.8%);秸秆生物炭比果皮生物炭孔径大,这是因为秸秆中纤维素、半纤维素等含量更高,高温下大量分解;秸秆生物炭的晶体化程度更高,稳定性更好,处理污染物的效果更佳;在1 600 cm~(-1)附近秸秆生物炭比果皮生物炭的羧基、酯基或醛基等官能团强度更大,对亚甲基蓝的吸附起到一定的促进作用;四种生物炭对亚甲基蓝的吸附能力依次为:水稻秆生物炭玉米秆生物炭香蕉皮生物炭柚子皮生物炭,说明秸秆生物炭去除染料废水中亚甲基蓝的效果更佳,其中水稻秆生物炭吸附性最好。     

MEMS阈值可调开关的仿真与实验分析

微系统（ MEMS）阈值可调开关是一种适用于弹药类型的通用碰炸开关,靠捕捉碰撞目标时的前冲惯性力而闭合。此开关除了受惯性力和静电力之外,还受到可动电极和驱动电极之间由于空气阻力而产生很大的阻尼力的影响。利用Coventor wave软件中的Saber系统仿真法,对设计的开关结构进行瞬态特性分析,仿真结果表明：开关在不同加速度信号下,阈值加速度与电压基本上呈反比关系,且随着阈值加速度的增大,电压减小。对加工的开关样件进行实验检测,实验结果表明开关可以实现阈值可调。     

可信的自治式服务协同模型和应用开发构架

通过自治式服务协同来实现VO的按需动态组建和自主演化,是开发Internet计算环境下组装化、服务化应用软件系统的潜在佳径;但遭遇因自治个体行为难以预测和控制而导致的协同效应"可信"危机。为解决该危机,文中提出了规范调控、策略驱动的自治式服务协同模型NGPD。解决的关键思路在于:通过系统化制定社交结构标准和配套的协同行为规范来约束和调控Ace(自治计算元素)个体的协同行为及其演化,使得理性Aces的协同行为(服务供、需行为),进而群体协同效应变得可控、可预测、从而可信;而提供"宏微"连接模式去支持宏观调控的操作化,并建立策略驱动的Ace行为自主管理机制去实现"宏观调控→微观行为"的映射,则使得宏观调控作用能够施加到Ace个体,以驱动Aces表现出遵守服务契约和协同行为规范的理性,又保持高度自治。随着"可信"危机的解决,服务协同模型NGPD能够突破服务协同的非自治性而导致的局限性,使得服务协同的自主和应变能力具有常规服务协同技术难以达到的强健和智能优势;也给开发规范调控、契约担保的层次式协同自组织模型,以及契约履行情境驱动的协同自适应和自演化模型,奠定了坚实基础;使得基于服务协同的VO具有按需动态自组织和自演化的高性能。     

近共沸混合制冷剂充灌量对冰箱性能的影响

研究了近共沸混合制冷剂充灌量与冰箱性能及运行参数间的关系。这些参数包括冷却速度、耗电量、冷藏室温度、冷冻室温度、冷凝器温度、压缩机吸气温度和排气温度等。为进一步提高替代工质冰箱性能提供了依据，并为近共沸混合制冷剂充灌量优化模型的验证提供了基础数据。     

负载动态变化时直接甲醇燃料电池的响应特性

直接甲醇燃料电池动态特性的研究对于实际应用来说非常重要.实验研究了直接甲醇单体燃料电池电流动态变化时电压的响应. 基于计算机控制的负载变化,得到了各种电流变化波形及不同的加载电流、放电/开路时间、加载斜率下的电池电压动态响应.结果表明电池电压对电流动态变换变化时的响应很迅速,动态运行时电池的开路电压要比稳态时的高,加载斜率对电池动态响应特性有重要影响. 电池内部电化学反应和传热传质瞬态变化的相互作用是电池动态响应的关键.     

极近距离煤层下位煤层回采巷道合理位置的探讨研究

基于极近距离煤层开采条件,应用弹塑性理论及弹性力学理论分别对上位煤层开采后对底板的屈服破坏深度及残留煤柱在底板的应力分布情况进行力学分析计算。通过对煤层塑性煤柱临界宽度的计算,确定上位残留煤柱的稳定性,其在底板的非均布应力对下位回采巷道的合理布置至关重要。经过综合分析确定出下位回采巷道合理的内错距,此方法可为极近距离煤层开采回采巷道的合理位置的确定提供一定的参考。